超精密電渦流位移傳感器
有埃米級(jí)分辨率電渦流位移傳感器SMU9000、SMT9700,
特點(diǎn)：
-超高分辨率，1埃
-信噪音比：1PPM
-精確度0.1%，通過計(jì)算機(jī)校準(zhǔn)；
-頻響：0～10KHZ
其典型應(yīng)用：
光學(xué)平臺(tái)位置測(cè)量；半導(dǎo)體和光器件的研磨閉環(huán)測(cè)控；半導(dǎo)體模板對(duì)齊系統(tǒng)定位；半導(dǎo)體蒸鍍系統(tǒng)定位；
電子顯微鏡垂直軸定位；原子顯微鏡垂直軸定位；磁懸浮軸控制；部件研磨加工的精確定位；鏡片定位控制；
物質(zhì)收縮測(cè)試測(cè)量；機(jī)械結(jié)構(gòu)變形探測(cè)與測(cè)試；高精度照排3D位置測(cè)量；讀寫頭制造，研磨板定位；
有納米級(jí)高穩(wěn)定差動(dòng)電渦流位移傳感器KD5100
特點(diǎn)：
-每通道兩個(gè)精確匹配的傳感器使分辨率達(dá)到1納米
-超耐熱，長時(shí)間穩(wěn)定：5x10E-6 英寸/月或更好
-有耐低溫傳感器
-非常高的靈敏度，zui高到394 mV/µm
典型應(yīng)用：
-差動(dòng)測(cè)量：
如激光反射鏡聚焦平臺(tái)定位。
-低溫應(yīng)用：
20N傳感器有一個(gè)專門的低溫應(yīng)用版本，已證明其在70°K的液態(tài)氮中有*性能。好幾個(gè)空間項(xiàng)目在4°K的液態(tài)氦環(huán)境中使用了此傳感器。
-真空應(yīng)用：
傳感器和KD-5100的電子器件都已用在10～6托的真空應(yīng)用中了。
-超高精度宇航應(yīng)用：
已制造出MIL-H-38534。所有電子器件均采用符合MIL-SPEC標(biāo)準(zhǔn)的。KD-5100在戰(zhàn)斗環(huán)境下的MTBF超過55,000小時(shí)，太空飛行環(huán)境下超過238,000小時(shí)。
小尺寸 (只有 2 x 2.12 x 0.75英寸) ：可應(yīng)用于空間狹小的場(chǎng)合。
-中繼鏡片激光定位（RME）：
RME演示了一束從地球發(fā)射到450公里軌道上人造衛(wèi)星的激光可以被精確地反射到直徑3米的目標(biāo)地面。
-半導(dǎo)體圓晶片制造中的超高精確激光聚焦位置、關(guān)鍵尺寸和對(duì)齊控制：
-精確望遠(yuǎn)鏡定位
-磁懸浮軸定位
