技術(shù)參數(shù)及特性 1. 反應(yīng)室工作壓強(qiáng):幾百帕~十千帕 2. 反應(yīng)室極限壓強(qiáng): 6×10-1帕 3. 反應(yīng)室尺寸: Φ50mm 4. 微波功率: 0~500W 5. 基片溫控: 200~1000℃ 設(shè)備安裝 1. 安裝環(huán)境要求 1) 供電: AC220V,50Hz,zui大功率2000W 2) 溫度、濕度、氣源及冷卻水:應(yīng)保障設(shè)備工作穩(wěn)定正常 3) 安裝室:室內(nèi)整潔,空氣流通,無塵埃。 4) 接地線:室內(nèi)具有獨立接地線<3Ω 2. 安裝程序 1) 確認(rèn)安裝環(huán)境 2) 檢查設(shè)備良好情況(運輸過程中是否造成損壞) 3) 安裝真空泵、抽氣管道、隔斷閥及其它配件 4) 連接電氣柜至主機(jī)各電纜線 5) 確認(rèn)各電氣部件完好無損 6) 升降雙層水冷支架,確認(rèn)石英管、基片臺及其它部件完好無損 7) 連接并啟動確認(rèn)循環(huán)控制冷卻水完好 8) 連接好設(shè)備地線。 操作及注意事項 1. 檢查確認(rèn)設(shè)備各部件完好,連接安全(注意接地)。 2. 接通總電源,打開總電源開關(guān)按鈕,確認(rèn)冷卻水箱水容量及MTC-2000水冷控制系統(tǒng)(詳細(xì)請參照MTC-2000操作說明書)已設(shè)定完成后,打開冷卻水開關(guān)按鈕。 3. 打開隔膜閥,確認(rèn)氣路連接規(guī)范完好后打開機(jī)械泵開關(guān)按鈕,抽真空約5分鐘使本底真空達(dá)到所需要求。 4. 開啟流量計開關(guān),給真空室輸送工作氣源。 5. 開啟高壓開關(guān)按鈕,將陽極電流加載至約15mA,關(guān)閉隔膜閥,調(diào)節(jié)微調(diào)閥使工作氣壓達(dá)到所需要求。 6. 調(diào)節(jié)短路活塞及工作平臺高度使裝置穩(wěn)定工作。 7. 試驗結(jié)束時,將陽極電流調(diào)至0,關(guān)閉高壓開關(guān)按鈕,關(guān)閉氣路,關(guān)閉機(jī)械泵,關(guān)閉冷卻水,關(guān)閉總電源。 | |