商品簡介: |
本公司生產(chǎn)的真空鍍膜電源(真空蒸發(fā)鍍膜電源和真空濺射鍍膜電源)有以下特點:1、恒流輸出,不隨氣壓變化。 2、抑制靶材弧光放電及抗短路功能, 具有的負載匹配能力。3、工藝重復性好。4、提高成膜速度, 實現(xiàn)高質(zhì)量的濺射膜層。 |
詳細說明: |
真空鍍膜電源 真空鍍膜行業(yè)不同于以往的電鍍行業(yè),屬于物理方式的表面處理行業(yè)。廣泛用于各種金屬及非金屬鍍膜裝置,涂鍍光元件、微電子元件、磁性元件、鐘表、種類裝飾材料、體育用品、精密工模具、薄膜包裝等鍍膜制品,以及應用于現(xiàn)代工業(yè)、航空航天航海等軍事領域的鍍耐蝕膜、耐磨損膜、固體潤滑膜裝置。 真空鍍膜過程非常復雜,由于鍍膜原理的不同分為很多種類,僅僅因為都需要高真空度 (HV,UHV)而擁有統(tǒng)一名稱。真空鍍膜主要分類有兩個大種類:蒸發(fā)沉積鍍膜和濺射沉積鍍膜,具體則包括很多種類,包括真空離子蒸發(fā),磁控濺射,MBE分子束外延,溶膠凝膠法等等。 一、對于蒸發(fā)鍍膜: 一般是加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發(fā)出來,并且沉降在基片表面,通過成膜過程(散點-島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長)形成薄膜。 二.對于濺射類鍍膜,可以簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材,并使表面組分以原子團或離子形式被濺射出來,并且zui終沉積在基片表面,經(jīng)歷成膜過程,zui終形成薄膜。 真空鍍膜電源是真空鍍膜設備的重要組成部分。例如在真空濺射設備中就是由濺射室、磁控濺射靶、對向磁控靶、射頻電源、直流電源、樣品加熱轉(zhuǎn)臺、真空獲得及測量系統(tǒng)、電控系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、微機控制膜層系統(tǒng)等組成。 本公司自主研發(fā)生產(chǎn)的真空鍍膜電源,成功地運用了優(yōu)異的脈寬調(diào)制技術(PWM),引進三菱、富士等國外的IGBT核心執(zhí)行元件,大功率機器采用結(jié)構(gòu)均流技術,并配以各種完善的保護功能,使得高頻開關電源可靠性問題得到了圓滿解決,滿足低紋波要求,且體積小、重量輕、節(jié)能環(huán)保,是一種性價比*異的直流電源產(chǎn)品,也是可控硅整流電源的替代品。 本公司生產(chǎn)的真空鍍膜電源(真空蒸發(fā)鍍膜電源和真空濺射鍍膜電源)有以下特點: 1、恒流輸出,不隨氣壓變化。 2、抑制靶材弧光放電及抗短路功能。 具有的負載匹配能力 3、工藝重復性好 4、提高成膜速度, 實現(xiàn)高質(zhì)量的濺射膜層。 真空蒸發(fā)鍍膜電源的電壓為18V,電流為2000A-5000A左右。 真空濺射鍍膜電源的電壓為800V,電流為50A-150A左右。 真空鍍膜電源技術指標: 品名:真空鍍膜電源 型號:SPWM系列 容量:0-100KVA 頻率:50 Hz 輸入相數(shù):3相4線+G 輸入電壓:380 V+/-15% 輸出電壓:0-800V 輸出電流:0-5000A 穩(wěn)壓精度:<1% 穩(wěn)流精度: <1% 紋波: <1% 輸入功率因子:95%以上 整機效率:85%以上 面板顯示:輸出電壓表,輸出電流表(含V.S) 冷卻方式:強迫氣冷或內(nèi)循環(huán)水冷 操作的環(huán)境條件: 溫度范圍:0 ~ 85℃ 相對濕度:10 ~90% 未凝結(jié)水滴(@25℃) 海拔高度:1000 m 箱體烤漆顏色:淺沙色,Munsell 5Y7/1,RAL 7032 開關電源特點:體積小,重量輕,效率高,節(jié)能*。功率因子高,對電網(wǎng)污染小。輸出紋波小。輸出電壓,電流獨立可調(diào),恒壓,恒流自動轉(zhuǎn)換。保護功能齊全,有限流,限壓,過流,過壓,過熱,缺相保護。 |