概述
產品參數(shù)
1) 支持超大/超重樣品測試
可搭載的樣品尺寸：“SU3800” 標配可搭載直徑200mm樣品的樣品倉，可應對高度為80mm、重量為2kg的樣品。 “SU3900”作為日立的大型掃描電鏡，標配可搭載直徑300mm樣品的樣品倉，可應對高度為130mm、重量為5kg(比前代機型提高2.5倍*2)的樣品
(2) 支持大視野觀察
■“SU3800”與“SU3900”的觀察范圍分別是：直徑130mm、直徑200mm
■安裝有“SEM MAP”導航功能，只需在導航畫面上觀察目標位置，即可移動視野
■安裝有“Multi Zigzag”系統(tǒng)，可在不同的視野自動拍攝多張高倍率圖像，并將取得的圖像拼接在一起，生成大視野高像素圖像
(3) 通過自動化功能提高操作性能
■通過自動光路調整和各種自動化功能，樣品設置完后立即可以開始觀察。關于圖像調整，自動功能執(zhí)行時的等待時間比前代機型*4縮短了三分之一以下
■安裝有“Intelligent Filament Technology(IFT)”軟件，自動監(jiān)控鎢燈絲*5的狀況，顯示預計的更換時期。在長時間的連續(xù)觀察和顆粒度解析等大視野分析時，也可避免長時間測試過程中因鎢燈絲使用壽命到期所造成的中斷觀察。
產品參數(shù)
| ITEM | SU3800 | SU3900 | |
|---|---|---|---|
| 二級電子分解能 | 3.0nm（加速電壓30kV、WD=5mm、高真空模式） | ||
| 15.0nm（加速電壓1kV、WD=5mm、高真空模式） | |||
| 背散射電子分解能 | 4.0nm（加速電壓30kV、WD=5mm、低真空模式） | ||
| 倍率 | ×5～×300,000（照片倍率*1） | ||
| ×7～×800,000（實際顯示倍率*2） | |||
| 加速電壓 | 0.3kV～30kV | ||
| 低真空度設定 | 6～650 Pa | ||
| 圖像位移 | ±50µm（WD＝10mm） | ||
| 樣品尺寸 | 200mm直徑 | 300mm直徑 | |
| 樣品臺 | X | 0～100mm | 0～150mm |
| Y | 0～50mm | 0～150mm | |
| Z | 5～65mm | 5～85mm | |
| R | 360°連續(xù) | ||
| T | －20°～+90° | ||
| 可觀察范圍 | 130mm直徑（R并用） | 200mm直徑（R并用） | |
| 可觀察高度 | 80mm（WD=10mm） | 130mm（WD=10mm） | |
| 電機驅動 | 5軸電機驅動 | ||
| 電子光學系統(tǒng) | 電子槍 | 中心操控式鎢絲發(fā)射 | |
| 物像鏡頭光圈 | 4孔可動光圈 | ||
| 檢測系統(tǒng) | 二級電子檢測器、高靈敏半導體背散射電子檢測器 | ||
| EDX分析WD | WD＝10mm（T.O.A＝35°） | ||
| 圖像顯示 | 自動光軸調整功能 | 自動光束調整（AFS→ABA→AFC→ABCC） | |
| 自動光軸調整（實時級別對齊） | |||
| 自動調整光束亮度 | |||
| 自動圖像調整功能 | 自動亮度和對比度控制（ABCC） | ||
| 自動對焦控制（AFC） | |||
| 自動標記和焦點功能（ASF） | |||
| 自動燈絲飽和度調整（AFS） | |||
| 自動光束對準（ABA） | |||
| 自動啟動（HV-ON→ABCC→AFC） | |||
| 操作輔助功能 | 光機旋轉、動態(tài)聚焦、圖像質量改善功能、數(shù)據(jù)輸入（點對點測量、角度測量、文本）、預設放大、樣品臺位置導航功能（SEM MAP）、光束標記功能 | ||
| 配件 | ■硬件:軌跡球、操縱桿、操作面板、壓縮機、高靈敏度操作低空探測器（UVD）、紅外CCD探測器、攝像機導航系統(tǒng)■軟件:SEM數(shù)據(jù)管理器外部通訊接口、3D捕獲、裝置臺移動限制解除功能、EDS集成 | ||
| 配件（外部裝置） | 能量散射X射線分析儀（EDS）、波長色散X射線分析儀（WDS）、 各種外部功能臺（加熱臺、冷卻臺、牽引臺） | ||
* 1.指正放大倍率為127 mm x 95 mm（4x5照片尺寸）的顯示尺寸。
* 2.放大倍率為509.8 mm x 286.7 mm（1,920 x 1,080像素）的顯示尺寸。
