霍尼韋爾 Zephyr™ HAF 系列傳感器為的滿量程流量范圍及溫度補(bǔ)償范圍內(nèi)讀取氣流數(shù)據(jù)提供一個數(shù)字界面。隔熱加熱器和溫度感應(yīng)元件可幫助傳感器對空氣流或其他氣流做出快速響應(yīng)。

Zephyr 傳感器旨在測量空氣和其他無腐蝕性氣體的質(zhì)量流量。

10 SLPM 至 300 SLPM

標(biāo)準(zhǔn)流量范圍為 10 SLPM、15 SLPM、20 SLPM、50 SLPM、100 SLPM、200 SLPM 或 300 SLPM，另具可定制化的流量范圍供您選擇。這些傳感器利用電路板上的專用集成電路 (ASIC) 進(jìn)行全面的校準(zhǔn)和溫度補(bǔ)償。

大于 10 SLPM 的 HAF 系列在經(jīng)校準(zhǔn)的 0°C 至 50°C [32°F 至 122°F] 的溫度范圍內(nèi)進(jìn)行補(bǔ)償?；?ASIC 的補(bǔ)償能實現(xiàn)數(shù)字 (I2C) 輸出和 1 ms 的響應(yīng)時間。

±50 SCCM 至 ±750 SCCM

標(biāo)準(zhǔn)流量范圍可在 ±50、±100、±200、±400 或 ±750 SCCM 下使用。還提供自定義流量范圍。這些傳感器利用電路板上的專用集成電路 (ASIC) 進(jìn)行全面的校準(zhǔn)和溫度補(bǔ)償。

HAF HAF 系列可以對0°C 至50 °C [32°F 至 122°F] 的溫度范圍做出補(bǔ)償，并且可以在 -20C 至70°C [-4°F 至 158°F] 的溫度范圍中工作?；?ASIC 的補(bǔ)償能實現(xiàn)數(shù)字 (I2C) 輸出和 1 ms 的響應(yīng)時間。

這些傳感器根據(jù)熱傳遞原理測量氣流的質(zhì)量流量。它們由含有熱電阻微橋的微機(jī)電傳感系統(tǒng) (MEMS) 組成，薄膜鉑電阻沉積于氮化硅薄膜上。MEMS 傳感芯片位于精密設(shè)計的氣流通道內(nèi)，提供對于流量的可重復(fù)響應(yīng)。

Zephyr 傳感器可以為客戶提供增強(qiáng)的可靠性、高準(zhǔn)確度、可重復(fù)測量等性能，并且能夠定制傳感器以滿足許多具體的應(yīng)用要求。堅固外殼和穩(wěn)定基底相結(jié)合使得這些產(chǎn)品極其堅固耐用。它們的設(shè)計與制造符合 ISO 9001 標(biāo)準(zhǔn)。

zephyr_HAF_series 50sccm-750sccm datasheet.pdf

HAF zephyr_digital_airflow_10slpm-300slpm datasheet.pdf