Effecttek易泛特晶圓厚度測量儀
技術規(guī)格:
型 號 | ETM-1200 |
外觀尺寸 | 760*500*500mm |
X、Y測量行程 | 200*200mm |
Z軸可調行程 | 1.6-100mm |
有效測量范圍 | 160*160mm |
掃描最小步距 | 1μm |
光斑直徑 | 18~30μm |
橫向分辨率 | 9~15μm |
軸向分辨率 | 30nm |
檢測重復精度 | 0.1μm |
與表面角度 | 90°±2° |
測量厚度范圍 | 10~2900μm |
適應材質 | Si(硅）、Doped-Si(涂層硅）、Sic（碳化硅）、Sapphire(藍寶石）、GaAs(砷化鎵）、Glass(玻璃）、GaN(氮化鎵） |
測量原理 | 紅外光干涉 |
電 源 | AC220V±10% |
重 量 | 300kg |
噪 音 | Noise 70db |
運行系統(tǒng) | Operational system Win10 |
