蔡司 EVO 系列 模塊化的 SEM 平臺適用于直觀操作、例行檢測和研究應(yīng)用
EVO系列將高性能的掃描電鏡和直觀的、友好的用戶界面體驗(yàn)結(jié)合在一起，同時能夠吸引經(jīng)驗(yàn)豐富的用戶以及新用戶。無論是在生命科學(xué)，材料科學(xué)，或例行的工業(yè)質(zhì)量保證和失效分析領(lǐng)域，憑借廣泛的可選配置，EVO 都可以根據(jù)您的要求量身定制。
■ 特 點(diǎn)：
顯微鏡中心或工業(yè)質(zhì)量保證實(shí)驗(yàn)室的多功能解決方案
不同的真空室大小和可滿足所有應(yīng)用要求的載物臺選項(xiàng)-甚至是大型工業(yè)零部件樣品
使用LaB6燈絲，能夠得到優(yōu)異的圖像質(zhì)量
對不導(dǎo)電和無導(dǎo)電涂層的樣品的成像和分析性能出色
可以配置多種分析探測器用于滿足各種顯微分析應(yīng)用的需求
■ 優(yōu) 勢：
便捷的可用性
SmartSEM Touch可以通過使用您的指尖與其進(jìn)行交互式工作流程控制。它簡單易學(xué)， 大大
減少了培訓(xùn)所付出的努力和成本，甚至新用戶在幾分鐘內(nèi)也能夠捕捉令人驚嘆的圖像。此用
戶界面還支持需要自動化工作流程以執(zhí)行可重復(fù)檢查任務(wù)的工業(yè)操作員。
優(yōu)異的圖像質(zhì)量
EVO 擅長于對未經(jīng)處理和沒有導(dǎo)電涂層的樣品獲取高質(zhì)量的數(shù)據(jù)。EVO 還允許樣品保留
其原始狀態(tài)， 維持含水和重污染樣品的數(shù)據(jù)質(zhì)量。此外當(dāng)成像和微量分析面臨挑戰(zhàn)時，
選用LaB6燈絲則能夠給予更好的分辨率、 對比度和信噪比。
EVO 能夠與其它設(shè)備相關(guān)聯(lián)
EVO 可以作為半自動、多模式工作流程的一部分，通過重新定位感興趣區(qū)域，并以多種方式
收集數(shù)據(jù)，形成信息的完整性。將光學(xué)和電子顯微鏡圖像合并起來進(jìn)行材料表征或零件檢驗(yàn)，
或者將 EVO 與蔡司光學(xué)顯微鏡相關(guān)聯(lián)，進(jìn)行關(guān)聯(lián)顆粒度分析。
適合更多用戶操作
對于經(jīng)驗(yàn)豐富的以及新手用戶操作都很方便
在實(shí)際的實(shí)驗(yàn)室環(huán)境中，SEM 的操作通常是顯微鏡專家的專屬領(lǐng)域。但是對于非專家級用戶來說，操作 SEM 就變得具有挑戰(zhàn)，比如學(xué)生、受訓(xùn)者或質(zhì)量工程師，他們往往也需要從 SEM 獲取數(shù)據(jù)。EVO 則同時考慮了這兩類用戶的需求，用戶界面選項(xiàng)既能滿足有經(jīng)驗(yàn)的顯微鏡專家也能滿足非專業(yè)用戶的操作需要。
- 專家用戶
優(yōu)選用戶界面: SmartSEM
專家用戶可以獲取以及設(shè)定高級的成像參數(shù)和分析功能。
SmartSEM: 為有經(jīng)驗(yàn)用戶使用的控制界面
- 新手用戶
優(yōu)選用戶界面: SmartSEM Touch
新手用戶可以使用預(yù)定義的工作流程和常用的一些參數(shù)-非常適合初學(xué)者。
SmartSEM Touch: 是一款在觸摸屏電腦上運(yùn)行的簡化圖形用戶界面
智能導(dǎo)航與成像
大大提高樣品的測試效率，以及更多的數(shù)據(jù)產(chǎn)出
- 蔡司導(dǎo)航相機(jī)
相機(jī)可以安裝在倉室前方， 以監(jiān)測樣品與背散射探測器以及物鏡底端之間的相對位置(倉室相機(jī))；或安裝在真空室倉門上方 (導(dǎo)航相機(jī))， 利用俯視圖查看樣品臺上樣品的擺放位置。此視圖可用于設(shè)置從光學(xué)顯微鏡圖像中識別出的預(yù)定義位置， 并在整個樣品測試過程中輕松導(dǎo)航。
- 自動化智能成像
EVO實(shí)現(xiàn)了對樣品批量自動、無人值守的圖像采集。蔡司自動化智能成像非常適合例行檢測。它使用戶能夠自定義邊界區(qū)域，自動生成所需的視圖或放大倍數(shù)確定的感興趣區(qū)域，并開始自動獲取圖像。自動化智能成像將大大提高樣品的測試效率，以及更多的數(shù)據(jù)產(chǎn)出。
將您的研究提升一個層次
使用六硼化鑭電子發(fā)射器能夠獲得更好的圖像
六硼化鑭陰極相較于傳統(tǒng)的鎢發(fā)夾燈絲所發(fā)射的電子能夠保證您額外所需要的圖像質(zhì)量。這種優(yōu)勢體現(xiàn)在以下兩個方面:
在相等電子探針尺寸 (即分辨率) 下， 有更多探針電流可供使用， 從而使圖像導(dǎo)航和優(yōu)化更容易
在相等的探針電流 (信噪比) 下， 光斑直徑要小得多， 從而提高了圖像分辨率
低加速電壓下高放大倍率的催化劑粒子 (左: 使用鎢燈絲， 右: 使用LaB6燈絲)
當(dāng)在具有挑戰(zhàn)性的成像條件下， 使用LaB6燈絲的用戶將有高達(dá)10倍的光束亮度， 從而提高了圖像分辨率和對比度
EVO 系列
真空室尺寸選擇
| 蔡司EVO 10 | 蔡司EVO 15 | 蔡司EVO 25 | |
選擇 EVO 10（可選配BSD和EDS）是您想以一個非常實(shí)惠的價格購買掃描電子顯微鏡的切入點(diǎn)。即使這個EVO真空室很小，它也不同于臺式電鏡。您現(xiàn)在在 EVO 的投資保證了您已經(jīng)為將來需要更多空間和端口的應(yīng)用做好了準(zhǔn)備。
| EVO 15 充分展示了 EVO 家族的靈活性概念， 并擅長于分析應(yīng)用。選擇 EVO 15 更大的真空室， 并增加對不導(dǎo)電樣品或零件的成像和分析的可變壓力模式， 你將有一個多功能多用途的顯微鏡設(shè)備或者工業(yè)質(zhì)量保證實(shí)驗(yàn)室的解決方案。 | EVO25 是工業(yè)的主力解決方案，它有足夠的空間以容納甚至更大的部件和組件。可選的 80 mm Z 軸行程載物臺可進(jìn)一步擴(kuò)展 EVO 25的功能，它可以處理重量高達(dá)2公斤的樣品甚至傾斜。此外，大的真空室將能夠容納多個分析檢測器以滿足苛刻的微量分析應(yīng)用需求。 | |
| 樣品高度 | 100 mm | 145 mm | 210 mm |
| 樣品直徑 | 230 mm | 250 mm | 300 mm |
| 電動載物臺行程XYZ | 80 x 100 x 35 mm | 125 x 125 x 50 mm | 130 x 130 x 50 (或 80) mm |
| 高真空模式 (HV) 導(dǎo)電樣品質(zhì)量的成像與分析 | ? | ? | ? |
可變壓力模式 (VP) 不導(dǎo)電且不噴涂導(dǎo)電層樣品的高質(zhì)量成像和分析 | ? | ? | ? |
| 擴(kuò)展壓力模式 (EP) 含水或被污染的樣品在其自然狀態(tài)下成像 | ? | ? | ? |
