熱式氣體流量計(jì)MFC300 系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器,該系列采用 MEMS 流量傳感器,自帶溫度和壓力補(bǔ)償。具有響應(yīng)速度快,寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點(diǎn)。
產(chǎn)品特點(diǎn)
超快響應(yīng):5ms 測(cè)量響應(yīng),300ms控制響應(yīng)
高重復(fù)性,寬量程比
更小體積,安裝方便
無(wú)需預(yù)熱,使用便捷
分階流量控制軟件,靈活配置
量程比1:500 控制精度 0.01分辨率