極低溫測試:
因?yàn)榫A在低溫大氣環(huán)境測試時(shí),空氣中的水汽會凝結(jié)在晶圓上,會導(dǎo)致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測試前用泵抽走,并且保持整個(gè)測試過程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。
高溫?zé)o氧化測試:
當(dāng)晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時(shí),氧化現(xiàn)象會越來越明顯,并且溫度越高氧化越嚴(yán)重。過度氧化會導(dǎo)致晶圓電性誤差,物理和機(jī)械形變。避免這些需要把真空腔內(nèi)的氧氣在測試前用泵抽走,并且保持整個(gè)測試過程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。
晶圓測試過程中溫度在低溫和高溫中變換,因?yàn)闊崦浝淇s現(xiàn)象,定位好的探針與器件電極間會有相對位移,這時(shí)需要針座的重新定位,針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動化針座來調(diào)整探針的位置。
整體規(guī)格: 載物Chuck 溫度范圍:4.2K-480K 外置4個(gè)定位針臂 探針X-Y-Z三方向移動,行程:25mm,定位精度:10微米 最多可以外置6個(gè)定位針臂 載物chuck 可到2寸 雙屏蔽chuck高低溫時(shí)達(dá)到100FA 的測試精度 針臂定位精度可以升級為0.7微米 極限真空到10-8 torr 可以選擇射頻配件做67 GHz的射頻測試 可以選擇防震桌 可以選擇超高真空腔體 客戶訂制 | 溫控規(guī)格:
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可選附件 防震桌 方形chuck 分子泵組 射頻部件 Chuck可外部移動裝置 客戶定制。 |