氣體流量計(jì)MFM毛細(xì)管熱質(zhì)量流量計(jì),直接測量較低流量范圍內(nèi)的清潔氣體和混合氣體的質(zhì)量流量。
產(chǎn)品特點(diǎn)
精準(zhǔn)質(zhì)量流量測量/控制
快速響應(yīng)、高重復(fù)性
不受溫度和壓力的影響
低壓損可選
集成顯示器可選
經(jīng)濟(jì)有效的解決方案
主要參數(shù)
介質(zhì)要求 潔凈干燥氣體
氣體種類 98+氣體可選
量程 10,20,50,100,300,500 sccm
0-1,2,5,10,20,30,50,100,200,500slpm
測量范圍 0.5%-1 00% F.S.
準(zhǔn)確度 ±0.5% F.S.
重復(fù)精度 ±0.2%F.S.
線性度 ±0.2%F.S.
分辨率 0.001 sccm(<10L/min),1sccm(10-50L/min)
傳感器響應(yīng)時間 <1s
預(yù)熱時間 5 min(T95),30 分鐘