FlexSEM1000是日立高新公司推出的一款機型小巧性能優(yōu)異的鎢燈絲電鏡，擁有大束流和低球差的物鏡和聚光鏡設(shè)計，配備了高分辨率二次電子探頭及高靈敏度五分割背散射探頭，具有的低真空成像能量，并且采用的SEM MAP高精度導(dǎo)航系統(tǒng)及的自動化功能，使性能更加，使用更加簡便。
特點
1.節(jié)能環(huán)保的設(shè)計
2.高效率的自動功能
3.簡捷的操作界面
4.高分辨低真空觀察
技術(shù)參數(shù)
| 分辨率 | 4.0nm（加速電壓20kV，高真空模式，二次電子像） |
| | 15.0nm（加速電壓1kV，高真空模式，二次電子） |
| | 5.0nm（加速電壓20kV，低真空模式，背散射電子像） |
| 放大倍率 | 底片倍率：6 – 300,000x |
| | 顯示器倍率：16 – 800,000x |
| 加速電壓 | 0.3-20kV |
| 低真空可變壓力范圍 | 6-100Pa |
| 馬達臺 | 標(biāo)配三軸自動馬達 |
| 行程 | X： 0-40mm |
| Y： 0-50mm | |
| R： 360 ° | |
| Z： 5-15mm | |
| T： -15- 90° | |
| 電子光學(xué)系統(tǒng) | 電子槍：預(yù)對中鎢燈絲 |
| 信號檢測系統(tǒng)：二次電子探測器；高靈敏度背散射探測器 |
| 真空系統(tǒng) | 全自動閥門控制抽真空系統(tǒng)/渦輪分子泵：61L/S 1臺 |
| 機械泵：100L/min 1臺 | |
| 安全裝置：帶停電、漏電保護的真空保護功能 | |
| 操作輔助功能 | 電子束旋轉(zhuǎn)；動態(tài)聚焦；畫質(zhì)優(yōu)化功能 |
| 數(shù)據(jù)輸入；2點間測量、角度測量、文字；預(yù)設(shè)倍率； | |
| 樣品臺位置導(dǎo)航功能（SEM MAP)；電子束標(biāo)記 |
