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AluVac260/360/460 真空鍍膜儀鋁腔體系列

參考價訂貨量

1

≥100臺

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 型號AluVac260/360/460
  • 品牌
  • 所在地廣州市
  • 更新時間2025-03-11
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 入駐年限1
  • 實名認證已認證
  • 產(chǎn)品數(shù)量42
  • 人氣值375
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東譜科技于2017年由專業(yè)研究人員和行業(yè)工程師聯(lián)合發(fā)起注冊成立,總部位于廣州,是專業(yè)的光電譜學類儀器及技術(shù)方案服務(wù)商,業(yè)務(wù)覆蓋光電譜學設(shè)備研制、生產(chǎn)、銷售、技術(shù)服務(wù)等,自主研發(fā)的系列譜學檢測產(chǎn)品已廣泛應用于材料科學、生命科學、食品科學、環(huán)境科學、石油化工、地質(zhì)學等領(lǐng)域。 東譜科技核心成員均獲得光機電類碩博士學位,具有5-10年國際實驗室及企業(yè)研發(fā)經(jīng)驗,擁有出色的光電子前沿科學研究及光機電產(chǎn)品開發(fā)的實力。公司長期聚焦光電譜學類產(chǎn)品與技術(shù)的研發(fā),提供專業(yè)的光電譜學“產(chǎn)品+技術(shù)+服務(wù)”的系統(tǒng)解決方案,致力于成為行業(yè)LX的光電譜學類儀器及技術(shù)方案服務(wù)商,推動行業(yè)創(chuàng)新發(fā)展。  

 

東譜科技的理念

 服務(wù)理念:以終端客戶為中心

以滿足一線終端客戶的需求作為首要目標;力求為終端客戶提供專業(yè)的服務(wù)和優(yōu)秀的產(chǎn)品。

技術(shù)理念:自底向上、全鏈條

致力于從底層開發(fā)創(chuàng)新性的產(chǎn)品,具備從電子、光學、機械零件等元器件層級設(shè)計和開發(fā)產(chǎn)品的能力;掌握所涉足產(chǎn)品的底層原理、系統(tǒng)設(shè)計、制備及應用等全方面的技術(shù)支撐能力。

產(chǎn)品理念:準確、高效、實時

為客戶提供精準的測試結(jié)果,同時提供智能的測試方案,協(xié)助客戶以最短的時間高效地完成測試,測試過程實時呈現(xiàn)給客戶;在系統(tǒng)級產(chǎn)品中,努力實現(xiàn)“一鍵開機、一次裝載、全局測量、實時交互”。


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產(chǎn)地國產(chǎn) 加工定制
真空腔室采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼材料,采用方形結(jié)構(gòu),內(nèi)部空間充足;可設(shè)置16組不同的蒸發(fā)材料,滿足各種復雜的蒸鍍條件;搭配分子泵可達優(yōu)于5*10-4Pa的真空度,適應絕大部分蒸發(fā)材料所需真空環(huán)境;配備全自動抽真空系統(tǒng);可以實現(xiàn)軟件點擊開啟抽真空,全自動根據(jù)真空度檢測機械泵、分子泵、閘板閥、電磁閥的智能開啟,實現(xiàn)鼠標一鍵式抽真空。配備手套箱防抽爆自動檢測系統(tǒng)。
真空鍍膜儀鋁腔體系列 產(chǎn)品詳情

產(chǎn)品簡介

AluVac系列可提供200A蒸鍍電流,蒸發(fā)溫度可達600°C,能夠滿足大部分有機材料的蒸鍍,可按客戶需求定制更高蒸鍍溫度;真空腔室采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼材料,采用方形結(jié)構(gòu),內(nèi)部空間充足;可設(shè)置16組不同的蒸發(fā)材料,可滿足各種復雜的蒸鍍條件;搭配分子泵可達優(yōu)于5*10-4Pa的真空度,適應絕大部分蒸發(fā)材料所需真空環(huán)境。

產(chǎn)品特點

□ 自動切換掩膜系統(tǒng);

□ 自動開關(guān)腔體,自動抽真空、退真空系統(tǒng);

□ 自動鍍膜工藝;

□ 完善的錯誤檢測系統(tǒng)

□ 優(yōu)異的鍍膜均勻性;

□ 提供定制化服務(wù)。

產(chǎn)品應用


□ 有機分子薄膜制備;

□ 半導體薄膜制備;

□ 光學薄膜制備;

□ 金屬電極制備;

□ 典型樣品:OLED、鈣鈦礦、薄膜電池、薄膜晶體管等。

功能參數(shù)

□ 蒸發(fā)源數(shù)量:2~16組可選;

□ 蒸發(fā)電流:0~200A連續(xù)可調(diào);

□ 蒸發(fā)電源模組:1~10組可選,功率600W,1200W,1500W可選;

□ 極限真空:優(yōu)于4*10-5Pa;

□ 樣品與蒸發(fā)源距離:固定或0~70mm可調(diào);

□ 鎢舟擋板:按蒸發(fā)源標配,2~16組;

□ 氣壓保護:進口壓力開關(guān),正負壓可設(shè)置,有效保護真空環(huán)境;

□ 抽氣速率:常壓至5*10-2Pa≤10min;

□ 掩膜庫:4位/6位/8位可選;

□ 真空保持:停止真空系統(tǒng)后12小時≤2 Pa;

□ 門板控制:手動、手動自動集成可選。

規(guī)格型號

參數(shù)/規(guī)格AluVac 260AluVac 360AluVac 460
鍍膜方式多源熱蒸發(fā)鍍膜多源熱蒸發(fā)鍍膜多源熱蒸發(fā)鍍膜
腔體結(jié)構(gòu)方形,前后開門,可配合手套箱安裝方形,前后開門,可配合手套箱安裝方形,前后開門,可配合手套箱安裝
材質(zhì)用料優(yōu)質(zhì)真空不銹鋼優(yōu)質(zhì)真空不銹鋼優(yōu)質(zhì)真空不銹鋼
真空腔室尺寸L260*W262*H351L360*W363*H486L460*W464*H635
加熱溫度600℃600℃600℃
蒸發(fā)源數(shù)量2~8可選;扇形分布,相互間擋板隔離,避免交叉污染6~12可選;扇形分布,相互間擋板隔離,避免交叉污染10~16可選;扇形分布,相互間擋板隔離,避免交叉污染
MagicVol/切換PC控制PC控制PC控制
蒸發(fā)源/加熱溫度室溫~600°C室溫~600°C室溫~600°C
蒸發(fā)源參數(shù)金屬舟:200A金屬舟:200A金屬舟:200A
基片臺(樣品架)φ161mmφ224mmφ287mm
樣品托及掩模版樣品托面積:70×70mm,可放置65×65mm樣品樣品托面積:100×100mm,可放置90×90mm樣品樣品托面積:140×140mm,可放置134×134mm樣品或放16片25×25mm樣品
基片臺擋板程控,氣缸+磁流體驅(qū)動,傳動穩(wěn)定,密封可靠程控,氣缸+磁流體驅(qū)動,傳動穩(wěn)定,密封可靠程控,氣缸+磁流體驅(qū)動,傳動穩(wěn)定,密封可靠
基片臺升降固定間距或0~30mm可調(diào)固定間距或0~50mm可調(diào)固定間距或0~70mm可調(diào)
參數(shù)/規(guī)格AluVac 260AluVac 360AluVac 460
基片尺寸≤30×30mm≤30×30mm≤30×30mm
膜厚不均勻性≤5%≤5%≤5%
備用接口466
門板控制手動/自動/手動自動一體手動/自動/手動自動一體手動/自動/手動自動一體
系統(tǒng)控制PC軟件PC軟件PC軟件
蒸鍍過程控制各操作環(huán)節(jié),掩膜板更換、樣品架旋轉(zhuǎn)及定位、電源功率調(diào)節(jié)等均可在軟件界面完成各操作環(huán)節(jié),掩膜板更換、樣品架旋轉(zhuǎn)及定位、電源功率調(diào)節(jié)等均可在軟件界面完成各操作環(huán)節(jié),掩膜板更換、樣品架旋轉(zhuǎn)及定位、電源功率調(diào)節(jié)等均可在軟件界面完成
總功率≥5KW≥8KW≥10KW
抽氣速率5.0×10-2Pa≤5min5.0×10-2Pa≤8min5.0×10-2Pa≤10min
工作真空優(yōu)于5×10-4Pa,從大氣到工作真空時間≤30分鐘優(yōu)于5×10-4Pa,從大氣到工作真空時間≤30分鐘優(yōu)于5×10-4Pa,從大氣到工作真空時間≤30分鐘
極限真空優(yōu)于4.0×10-5Pa優(yōu)于4.0×10-5Pa優(yōu)于4.0×10-5Pa
漏率≤6.5×10-8Pa·L/S≤6.5×10-8Pa·L/S≤6.5×10-8Pa·L/S
分子泵類別油/脂潤滑、磁懸浮可選油/脂潤滑、磁懸浮可選油/脂潤滑、磁懸浮可選
冷卻系統(tǒng)搭配循環(huán)水冷卻搭配循環(huán)水冷卻搭配循環(huán)水冷卻
掩膜庫一4位4位4位
掩膜庫二6位6位6位
掩膜庫三8位8位8位
參數(shù)/規(guī)格AluVac 260AluVac 360AluVac 460
循環(huán)水參數(shù)≤4LMP,溫度范圍-5°C~45°C,溫控精度0.1%≤4LMP,溫度范圍-5°C~45°C,溫控精度0.1%≤4LMP,溫度范圍-5°C~45°C,溫控精度0.1%
真空系統(tǒng)分子泵+機械泵PC軟件控制分子泵+機械泵PC軟件控制分子泵+機械泵PC軟件控制
蒸發(fā)電源

控制方式:恒流模式;

數(shù)量:按客戶要求;

功率:600W,1200W,1500W等可選;

精度:程控精度為量程的0.01%。

控制方式:恒流模式;

數(shù)量:按客戶要求;

功率:600W,1200W;

精度:程控精度為量程的0.01%

控制方式:恒流模式;

數(shù)量:按客戶要求;

功率:600W,1200W;

精度:程控精度為量程的0.01%。
手套箱單/雙工位可選,可按客戶要求預留多個數(shù)據(jù)交互接口(USB、BNC等)使用戶可無憂使用需要與外設(shè)備連接的儀器單/雙工位可選,可按客戶要求預留多個數(shù)據(jù)交互接口(USB、BNC等)使用戶可無憂使用需要與外設(shè)備連接的儀器單/雙工位可選,可按客戶要求預留多個數(shù)據(jù)交互接口(USB、BNC等)使用戶可無憂使用需要與外設(shè)備連接的儀器
真空保持12小時≤2Pa12小時≤2Pa12小時≤2Pa
參數(shù)/規(guī)格AluVac 260AluVac 360AluVac 460
手套箱參數(shù)手套箱含水氧探頭、氣體循環(huán)和再生系統(tǒng)。水氧含量控制在小于1 ppm。手套箱含水氧探頭、氣體循環(huán)和再生系統(tǒng)。水氧含量控制在小于1 ppm。手套箱含水氧探頭、氣體循環(huán)和再生系統(tǒng)。水氧含量控制在小于1 ppm。
系統(tǒng)保護氣壓、高壓保護控制系統(tǒng)全程即時報警氣壓、高壓保護控制系統(tǒng)全程即時報警氣壓、高壓保護控制系統(tǒng)全程即時報警
氣路控制超高真空氣動電磁閥超高真空氣動電磁閥超高真空氣動電磁閥
電氣柜與系統(tǒng)一體式集成化,節(jié)省空間與系統(tǒng)一體式集成化,節(jié)省空間與系統(tǒng)一體式集成化,節(jié)省空間
腔室測溫可選高精度PT100測溫,軟件實時顯示溫度值可選高精度PT100測溫,軟件實時顯示溫度值可選高精度PT100測溫,軟件實時顯示溫度值
膜厚儀腔室內(nèi)可安裝1~8個探頭標配優(yōu)質(zhì)石英晶振膜厚控制儀;可選國產(chǎn)或進口監(jiān)測控制儀腔室內(nèi)可安裝1~8個探頭標配優(yōu)質(zhì)石英晶振膜厚控制儀;可選國產(chǎn)或進口監(jiān)測控制儀腔室內(nèi)可安裝1~8個探頭標配優(yōu)質(zhì)石英晶振膜厚控制儀;可選國產(chǎn)或進口監(jiān)測控制儀
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