自動增壓器UR-7300 系列
自動增壓器UR-7300 系列壓力調節(jié)器是具有高精度壓力傳感器、高分辨度和快速反應壓電陶瓷做動閥門的電子調節(jié)器。它通過接收到的外部控制信號對壓力進行控制。氣體接觸區(qū)域的全金屬結構設計（金屬型號）使這些部件非常適合于那些超純氣供應系統(tǒng)的超潔凈環(huán)境壓力控制。
HORIBA STEC公司的質量流量控制器在流體流速的精確控制方面是非常有名的，并且它在市場的也獲得了非常大的*。HORIBA STEC公司將自己的質量流量控制技術運用到了新的領域---壓力控制。HORIBA STEC公司的這套壓力控制系統(tǒng)包含了超潔凈自動壓力調節(jié)器；對于GR-300系列產品而言，它是通過與質量流量控制器工程師們一起合作而開發(fā)的世界上zui小尺寸的芯片背面冷卻系統(tǒng)；EC系列產品是為反應室內部控壓而設計的排氣壓力控制器；而PV系列快速反應系統(tǒng)是以金屬密封圈封裝的壓電陶瓷閥門為特色的。HORIBA STEC公司也可以提供那些通過多維空間技術設計的流量和壓力控制系統(tǒng)。
當壓力源發(fā)生改變的時候，可以實現快速、準確的壓力調整。特別是壓力源突然變化的時候，這種快速準確的反應尤為重要。帶有壓力調整設備的話，由于提供了反應靈敏和壓力可調整地特性，可以有效的控制質量流量控制器內的次級壓力。此外，在一些非常小的流量范圍，如果壓力調整分辨率不夠高，也容易產生振蕩現象。高精度、高反應速度的UR系列產品為大家解決了這個問題，提供了準確和穩(wěn)定的壓力控制。
