半磁浮分子泵TURBOVAC 90 i/iX
渦輪分子真空泵（TURBOVAC）應(yīng)用于需要清潔的高真空或超高真空的應(yīng)用中，例如，在研究、開發(fā)或工業(yè)領(lǐng)域，如半導(dǎo)體工業(yè)、分析儀器或涂層技術(shù)。
工作原理
原則上，渦輪分子泵是在殼體中快速旋轉(zhuǎn)的渦輪，渦輪分子泵（TURBOVAC i）的渦輪截面圖的轉(zhuǎn)子級(jí)配備有多個(gè)轉(zhuǎn)子葉片。位于旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子葉片之間的是靜止的定子盤，葉片布置在相反的方向上。通過從旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子葉片到氣體分子的動(dòng)量傳遞，它們最初的無方向熱運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)變?yōu)閺谋眠M(jìn)口法蘭沿軸向朝前真空法蘭的方向運(yùn)動(dòng)。在分子流量范圍內(nèi)（即壓力低于10-3 mbar（0.75 x 10-3 Torr））氣體分子的平均自由程大于轉(zhuǎn)子和定子葉片之間的間距（通常為十分之幾毫米）。相應(yīng)地，分子主要與光學(xué)稠密的轉(zhuǎn)子葉片碰撞，產(chǎn)生高效的泵送作用。在層流范圍內(nèi)（即在壓力超過10-1 mbar（0.75 x 10-1 Torr））中，轉(zhuǎn)子的作用因分子之間頻繁的碰撞而受損。因此，渦輪分子泵不能在大氣壓下泵送氣體。
轉(zhuǎn)子軸承
萊寶提供不同的轉(zhuǎn)子軸承系統(tǒng)。純經(jīng)典機(jī)械式轉(zhuǎn)子軸承（TURBOVAC）或磁性轉(zhuǎn)子軸承（TURBOVAC MAG）以及混合式軸承（TURBOVAC i/iX），其中前真空側(cè)的軸承是一個(gè)終身潤滑的陶瓷球軸承，高真空側(cè)的軸承通過非磨損磁性軸承實(shí)現(xiàn)。所有這些類型軸承的典型特點(diǎn)是，它們不需要任何潤滑油，在泵停止等情況下，由于缺乏任何泵送作用，這些潤滑油可能會(huì)擴(kuò)散回真空室。
驅(qū)動(dòng)電子/控制單元
驅(qū)動(dòng)和監(jiān)測(cè)渦輪分子泵需要一個(gè)電子變頻器（逆變器）。變頻器為電機(jī)提供驅(qū)動(dòng)電壓和輸出頻率，并自動(dòng)監(jiān)控系統(tǒng)。泵轉(zhuǎn)子的啟動(dòng)是通過穩(wěn)定地增加電壓和頻率來實(shí)現(xiàn)的。達(dá)到額定速度后，啟動(dòng)電流以受控方式降低至正常運(yùn)行所需的水平。
TURBOVAC的變頻器和電機(jī)設(shè)計(jì)為即使在高進(jìn)氣壓力下，轉(zhuǎn)速下降也很小。這確保了在從分子流到粘性流的過渡范圍內(nèi)，氣體的吞吐量。
根據(jù)給定的系統(tǒng)和安裝條件，控制單元可由一系列可選附件進(jìn)行補(bǔ)充，以方便在現(xiàn)有裝置中集成。
前真空泵
由于渦輪分子泵不能直接在大氣壓力下進(jìn)行壓縮，因此其操作始終需要一個(gè)額定值足夠的前真空泵。對(duì)于帶轉(zhuǎn)子葉片的經(jīng)典轉(zhuǎn)子布置，通常采用兩級(jí)旋轉(zhuǎn)葉片泵（TRIVAC）。在某些情況下，也可使用單級(jí)旋轉(zhuǎn)葉片真空泵（SOGEVAC BI）或渦旋真空泵（SCROLLVAC）。在大范圍變型的情況下，轉(zhuǎn)子配有附加壓縮級(jí)（復(fù)合級(jí)），也可使用隔膜真空泵（DIVAC）。
特征量
泵送速度（體積流量）
泵送速度“S”是通過泵的入口口輸送的體積流量。這取決于氣體的類型，因此，通常針對(duì)空氣和氮?dú)夥謩e規(guī)定標(biāo)稱泵送速度，即泵的可達(dá)到泵送速度。在高真空工程領(lǐng)域，通常以測(cè)量單位[l/s]來表示泵送速度。泵速是入口壓力S=S（p1）的非線性函數(shù)。
天然氣吞吐量
氣體流量“Q”，計(jì)量單位【mbar x l/s】與通過入口壓力的泵送速度有關(guān)。Q=Q（p1）=p1*S（p1）。
壓縮
壓縮“K”定義為渦輪分子泵前真空側(cè)的壓力與高真空側(cè)的壓力之比。K=K（pVV）=pVV/pHV。壓縮取決于氣體的類型。
極限壓力（基礎(chǔ)壓力）
可以烘烤的渦輪分子泵的極限壓力“pult”是通過測(cè)量裝置24小時(shí)烘烤（脫氣）后48小時(shí)在試驗(yàn)室中獲得的前真空壓力和壓縮比之間的比值來確定的。脈沖=pFV/K0。
可達(dá)到的極限p
半磁浮分子泵TURBOVAC 90 i/iX
渦輪分子真空泵（TURBOVAC）應(yīng)用于需要清潔的高真空或超高真空的應(yīng)用中，例如，在研究、開發(fā)或工業(yè)領(lǐng)域，如半導(dǎo)體工業(yè)、分析儀器或涂層技術(shù)。
工作原理
原則上，渦輪分子泵是在殼體中快速旋轉(zhuǎn)的渦輪，渦輪分子泵（TURBOVAC i）的渦輪截面圖的轉(zhuǎn)子級(jí)配備有多個(gè)轉(zhuǎn)子葉片。位于旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子葉片之間的是靜止的定子盤，葉片布置在相反的方向上。通過從旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子葉片到氣體分子的動(dòng)量傳遞，它們最初的無方向熱運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)變?yōu)閺谋眠M(jìn)口法蘭沿軸向朝前真空法蘭的方向運(yùn)動(dòng)。在分子流量范圍內(nèi)（即壓力低于10-3 mbar（0.75 x 10-3 Torr））氣體分子的平均自由程大于轉(zhuǎn)子和定子葉片之間的間距（通常為十分之幾毫米）。相應(yīng)地，分子主要與光學(xué)稠密的轉(zhuǎn)子葉片碰撞，產(chǎn)生高效的泵送作用。在層流范圍內(nèi)（即在壓力超過10-1 mbar（0.75 x 10-1 Torr））中，轉(zhuǎn)子的作用因分子之間頻繁的碰撞而受損。因此，渦輪分子泵不能在大氣壓下泵送氣體。
轉(zhuǎn)子軸承
萊寶提供不同的轉(zhuǎn)子軸承系統(tǒng)。純經(jīng)典機(jī)械式轉(zhuǎn)子軸承（TURBOVAC）或磁性轉(zhuǎn)子軸承（TURBOVAC MAG）以及混合式軸承（TURBOVAC i/iX），其中前真空側(cè)的軸承是一個(gè)終身潤滑的陶瓷球軸承，高真空側(cè)的軸承通過非磨損磁性軸承實(shí)現(xiàn)。所有這些類型軸承的典型特點(diǎn)是，它們不需要任何潤滑油，在泵停止等情況下，由于缺乏任何泵送作用，這些潤滑油可能會(huì)擴(kuò)散回真空室。
驅(qū)動(dòng)電子/控制單元
驅(qū)動(dòng)和監(jiān)測(cè)渦輪分子泵需要一個(gè)電子變頻器（逆變器）。變頻器為電機(jī)提供驅(qū)動(dòng)電壓和輸出頻率，并自動(dòng)監(jiān)控系統(tǒng)。泵轉(zhuǎn)子的啟動(dòng)是通過穩(wěn)定地增加電壓和頻率來實(shí)現(xiàn)的。達(dá)到額定速度后，啟動(dòng)電流以受控方式降低至正常運(yùn)行所需的水平。
TURBOVAC的變頻器和電機(jī)設(shè)計(jì)為即使在高進(jìn)氣壓力下，轉(zhuǎn)速下降也很小。這確保了在從分子流到粘性流的過渡范圍內(nèi)，氣體的吞吐量。
根據(jù)給定的系統(tǒng)和安裝條件，控制單元可由一系列可選附件進(jìn)行補(bǔ)充，以方便在現(xiàn)有裝置中集成。
前真空泵
由于渦輪分子泵不能直接在大氣壓力下進(jìn)行壓縮，因此其操作始終需要一個(gè)額定值足夠的前真空泵。對(duì)于帶轉(zhuǎn)子葉片的經(jīng)典轉(zhuǎn)子布置，通常采用兩級(jí)旋轉(zhuǎn)葉片泵（TRIVAC）。在某些情況下，也可使用單級(jí)旋轉(zhuǎn)葉片真空泵（SOGEVAC BI）或渦旋真空泵（SCROLLVAC）。在大范圍變型的情況下，轉(zhuǎn)子配有附加壓縮級(jí)（復(fù)合級(jí)），也可使用隔膜真空泵（DIVAC）。
特征量
泵送速度（體積流量）
泵送速度“S”是通過泵的入口口輸送的體積流量。這取決于氣體的類型，因此，通常針對(duì)空氣和氮?dú)夥謩e規(guī)定標(biāo)稱泵送速度，即泵的可達(dá)到泵送速度。在高真空工程領(lǐng)域，通常以測(cè)量單位[l/s]來表示泵送速度。泵速是入口壓力S=S（p1）的非線性函數(shù)。
天然氣吞吐量
氣體流量“Q”，計(jì)量單位【mbar x l/s】與通過入口壓力的泵送速度有關(guān)。Q=Q（p1）=p1*S（p1）。
壓縮
壓縮“K”定義為渦輪分子泵前真空側(cè)的壓力與高真空側(cè)的壓力之比。K=K（pVV）=pVV/pHV。壓縮取決于氣體的類型。
極限壓力（基礎(chǔ)壓力）
可以烘烤的渦輪分子泵的極限壓力“pult”是通過測(cè)量裝置24小時(shí)烘烤（脫氣）后48小時(shí)在試驗(yàn)室中獲得的前真空壓力和壓縮比之間的比值來確定的。脈沖=pFV/K0。
可達(dá)到的極限p
半磁浮分子泵TURBOVAC 90 i/iX
渦輪分子真空泵（TURBOVAC）應(yīng)用于需要清潔的高真空或超高真空的應(yīng)用中，例如，在研究、開發(fā)或工業(yè)領(lǐng)域，如半導(dǎo)體工業(yè)、分析儀器或涂層技術(shù)。
工作原理
原則上，渦輪分子泵是在殼體中快速旋轉(zhuǎn)的渦輪，渦輪分子泵（TURBOVAC i）的渦輪截面圖的轉(zhuǎn)子級(jí)配備有多個(gè)轉(zhuǎn)子葉片。位于旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子葉片之間的是靜止的定子盤，葉片布置在相反的方向上。通過從旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子葉片到氣體分子的動(dòng)量傳遞，它們最初的無方向熱運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)變?yōu)閺谋眠M(jìn)口法蘭沿軸向朝前真空法蘭的方向運(yùn)動(dòng)。在分子流量范圍內(nèi)（即壓力低于10-3 mbar（0.75 x 10-3 Torr））氣體分子的平均自由程大于轉(zhuǎn)子和定子葉片之間的間距（通常為十分之幾毫米）。相應(yīng)地，分子主要與光學(xué)稠密的轉(zhuǎn)子葉片碰撞，產(chǎn)生高效的泵送作用。在層流范圍內(nèi)（即在壓力超過10-1 mbar（0.75 x 10-1 Torr））中，轉(zhuǎn)子的作用因分子之間頻繁的碰撞而受損。因此，渦輪分子泵不能在大氣壓下泵送氣體。
轉(zhuǎn)子軸承
萊寶提供不同的轉(zhuǎn)子軸承系統(tǒng)。純經(jīng)典機(jī)械式轉(zhuǎn)子軸承（TURBOVAC）或磁性轉(zhuǎn)子軸承（TURBOVAC MAG）以及混合式軸承（TURBOVAC i/iX），其中前真空側(cè)的軸承是一個(gè)終身潤滑的陶瓷球軸承，高真空側(cè)的軸承通過非磨損磁性軸承實(shí)現(xiàn)。所有這些類型軸承的典型特點(diǎn)是，它們不需要任何潤滑油，在泵停止等情況下，由于缺乏任何泵送作用，這些潤滑油可能會(huì)擴(kuò)散回真空室。
驅(qū)動(dòng)電子/控制單元
驅(qū)動(dòng)和監(jiān)測(cè)渦輪分子泵需要一個(gè)電子變頻器（逆變器）。變頻器為電機(jī)提供驅(qū)動(dòng)電壓和輸出頻率，并自動(dòng)監(jiān)控系統(tǒng)。泵轉(zhuǎn)子的啟動(dòng)是通過穩(wěn)定地增加電壓和頻率來實(shí)現(xiàn)的。達(dá)到額定速度后，啟動(dòng)電流以受控方式降低至正常運(yùn)行所需的水平。
TURBOVAC的變頻器和電機(jī)設(shè)計(jì)為即使在高進(jìn)氣壓力下，轉(zhuǎn)速下降也很小。這確保了在從分子流到粘性流的過渡范圍內(nèi)，氣體的吞吐量。
根據(jù)給定的系統(tǒng)和安裝條件，控制單元可由一系列可選附件進(jìn)行補(bǔ)充，以方便在現(xiàn)有裝置中集成。
前真空泵
由于渦輪分子泵不能直接在大氣壓力下進(jìn)行壓縮，因此其操作始終需要一個(gè)額定值足夠的前真空泵。對(duì)于帶轉(zhuǎn)子葉片的經(jīng)典轉(zhuǎn)子布置，通常采用兩級(jí)旋轉(zhuǎn)葉片泵（TRIVAC）。在某些情況下，也可使用單級(jí)旋轉(zhuǎn)葉片真空泵（SOGEVAC BI）或渦旋真空泵（SCROLLVAC）。在大范圍變型的情況下，轉(zhuǎn)子配有附加壓縮級(jí)（復(fù)合級(jí)），也可使用隔膜真空泵（DIVAC）。
特征量
泵送速度（體積流量）
泵送速度“S”是通過泵的入口口輸送的體積流量。這取決于氣體的類型，因此，通常針對(duì)空氣和氮?dú)夥謩e規(guī)定標(biāo)稱泵送速度，即泵的可達(dá)到泵送速度。在高真空工程領(lǐng)域，通常以測(cè)量單位[l/s]來表示泵送速度。泵速是入口壓力S=S（p1）的非線性函數(shù)。
天然氣吞吐量
氣體流量“Q”，計(jì)量單位【mbar x l/s】與通過入口壓力的泵送速度有關(guān)。Q=Q（p1）=p1*S（p1）。
壓縮
壓縮“K”定義為渦輪分子泵前真空側(cè)的壓力與高真空側(cè)的壓力之比。K=K（pVV）=pVV/pHV。壓縮取決于氣體的類型。
極限壓力（基礎(chǔ)壓力）
可以烘烤的渦輪分子泵的極限壓力“pult”是通過測(cè)量裝置24小時(shí)烘烤（脫氣）后48小時(shí)在試驗(yàn)室中獲得的前真空壓力和壓縮比之間的比值來確定的。脈沖=pFV/K0。
可達(dá)到的極限p
