HG-OE-P 光纖法珀壓力傳感器是采用MEMS工藝加工的硅芯體進(jìn)封裝而成的壓力傳感器。其基本原理是采用光纖法珀測(cè)量壓力的原理,在硅芯片上通過微加工制成法珀腔,在腔的一端形成對(duì)壓力敏感的薄膜,當(dāng)薄膜在承受外在壓力的狀態(tài)下使法珀腔長(zhǎng)發(fā)生改變,該腔長(zhǎng)的變化量與壓力成正比,因此實(shí)現(xiàn)壓力測(cè)量。
產(chǎn)品特點(diǎn)
高精度、高穩(wěn)定性、高可靠性;
光纖傳感器的特征:本質(zhì)安全,不受電磁干擾、抗腐蝕、抗污染、抗雷擊能力強(qiáng),可在強(qiáng)電磁干擾、高雷擊、易燃、易爆等惡劣條件下應(yīng)用;
附近安裝一只光纖光柵溫度傳感器,提高全溫范圍內(nèi)的測(cè)量精度;
通用其他類型傳感器使用的解調(diào)儀,良好的兼容性;
MEMS工藝微加工的硅芯片,性能穩(wěn)定;