產(chǎn)品應(yīng)用
• 設(shè)備用于可見光BAR條自動(dòng)測(cè)試,可以實(shí)現(xiàn)常溫、高溫條件下邊發(fā)射芯片的光譜、LIV參數(shù)測(cè)試
產(chǎn)品特點(diǎn)
• 支持多種主流規(guī)格料盒,全自動(dòng)上下料,避免轉(zhuǎn)料或人工操作對(duì)巴條chip造成的報(bào)廢
• 上下料料盒配磁吸式夾具,支持快速更換不同規(guī)格料盒或藍(lán)膜盤
• 支持BAR條自動(dòng)上料、首顆chip識(shí)別定位,支持ID識(shí)別、自動(dòng)測(cè)試、自動(dòng)判斷BAR條測(cè)試結(jié)束、自動(dòng)下料
• 吸嘴、探針與BAR條接觸壓力可調(diào)
• 支持單探針、雙探針、多探針加電的形態(tài)
• 高溫、常溫測(cè)試臺(tái),溫度采用閉環(huán)控制
• 支持前光LIV曲線、功率、光譜測(cè)量,背光功率測(cè)量,多參數(shù)多條件篩分,盡可能篩選出不良chip,避免流入后道工序
• 支持MAP圖繪制,方便用戶對(duì)wafer的性能分布情況分析
• 支持NG Chip打點(diǎn)標(biāo)記,支持簡(jiǎn)單的芯片外觀檢查
• 支持常溫、高溫測(cè)試,常溫臺(tái)支持溫控
• 多維度可調(diào)測(cè)量結(jié)構(gòu),滿足用戶對(duì)不同規(guī)格巴條測(cè)量需求
參 數(shù) | 指 標(biāo) |
適用巴條尺寸 | 長(zhǎng)度:15~30mm 寬度:0.2~0.5mm,其他BAR條寬度可定制測(cè)試臺(tái) |
儀表型號(hào) | 吉時(shí)利(Keithley)2601B-PULSE |
測(cè)量參數(shù) | LIV曲線,Ith,Po,Vf,Im,Rs,SE,Kink等 |
LD驅(qū)動(dòng)電流 | 小功率芯片范圍0 ~ 300mA,精度0.1%FS±0.5mA 大功率芯片范圍0 ~ 5A,精度0.1%FS±5mA |
電流模式 | CW/Pulse |
P-I-V | Pulse 0.1ms (ON) Duty1% |
正向電壓測(cè)試 | 小功率芯片范圍0 ~ 15.0V,精度0.1% FS±50mV 大功率芯片范圍0 ~ 10.0V,精度0.1% FS±50mV |
光功率測(cè)試 | 小功率芯片測(cè)試范圍0-300mW;精度0.1% FS±50uW;波長(zhǎng)范圍380-700nm 大功率芯片測(cè)試范圍0-10W;精度0.1% FS±10mW;波長(zhǎng)范圍380-700nm |
溫度控制 | 常溫:20~85℃;穩(wěn)定性≤ ±0.5℃ |
氣源要求 | 正壓:>0.6MPa 負(fù)壓:<-80KPa |
電源 | AC 220V/8A 50Hz |