雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展而來的一種外差式干涉儀。傳統(tǒng)單頻激光干涉儀采用單頻技術(shù)，容易受到外界環(huán)境干擾，微小的空氣湍流都會引起直流電平變化從而影響測量結(jié)果，這是單頻干涉儀的一個根本弱點(diǎn)。在測試環(huán)境惡劣或測量距離較長時，這一缺點(diǎn)十分突出，而雙頻激光干涉測量儀正好克服了這一缺點(diǎn)。雙頻干涉儀使用雙頻激光，其干涉信號是一個頻率約為1.5-8 M H z的交流信號，當(dāng)可動棱鏡移動時，雙頻干涉儀的干涉信號只是使原有的交流信號頻率增加或減少了△f，結(jié)果依然是一個交流信號。這個交流信號頻率的改變?nèi)Q于可動棱鏡位置的變化，不受直流光平和電平變化的影響，因此抗干擾能力強(qiáng)，適合在各種環(huán)境條件下開展檢測作業(yè)。

雙頻激光干涉測量儀采用外差技術(shù)，對環(huán)境干擾不敏感，先天具有抗干擾性好，工作穩(wěn)定的特點(diǎn)，適合在車間生產(chǎn)環(huán)境中使用。本套雙頻激光干涉儀，基于清華大學(xué)精密測試技術(shù)及儀器國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室多年研發(fā)的核心技術(shù)，擁有自主知識產(chǎn)權(quán)，技術(shù)指標(biāo)達(dá)到或優(yōu)于國外產(chǎn)品同等水平。本套雙頻激光干涉儀通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合，可實(shí)現(xiàn)對線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何量的檢測，是高精度線性位移測量、數(shù)控機(jī)床校準(zhǔn)、三坐標(biāo)機(jī)校準(zhǔn)、光學(xué)平臺校準(zhǔn)的高效率量測工具。

系統(tǒng)組成：

雙頻激光頭及附件

環(huán)境補(bǔ)償單元

Leice Measure測量軟件、Leice Analysis 分析軟件

線性位移測量鏡組（選配：角度、直線度、垂直度、平面度測量鏡組等）

光學(xué)調(diào)整附件

三腳架及其他測量附件

產(chǎn)品優(yōu)勢：

采用雙頻激光，測量精度高

緊湊設(shè)計(jì)，適合外出服務(wù)攜帶

抗干擾能力強(qiáng)，大型機(jī)床長距離檢測時也能保證穩(wěn)定精準(zhǔn)

自動環(huán)境補(bǔ)償，不同溫度、濕度、壓力環(huán)境中也能精確檢測

符合測校國家標(biāo)準(zhǔn)的測量分析軟件

自動生成測量數(shù)據(jù)報(bào)表和誤差校正補(bǔ)償文件。

典型頻差7±0.5MHz，測速高達(dá)2m/s。