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連續(xù)式四探針片電阻及光學(xué)膜厚測量設(shè)備

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地上海市
  • 更新時(shí)間2024-11-24
  • 廠商性質(zhì)代理商
  • 入駐年限1
  • 產(chǎn)品數(shù)量106
  • 人氣值181
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  鉑悅儀器的總公司設(shè)立在上海,并在北京、廣州、成都、武漢、青島、西安、沈陽、廈門、香港、加拿大設(shè)立了辦事處,在能及時(shí)引進(jìn)*進(jìn)技術(shù)的同時(shí),保證了鉑悅儀器能快速、有效的為全國各地的客戶提供良好的服務(wù)。
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產(chǎn)品描述:連續(xù)式四探針片電阻及光學(xué)膜厚測量設(shè)備設(shè)計(jì), 片電阻不受針尖距離影響多種型號以供選擇
連續(xù)式四探針片電阻及光學(xué)膜厚測量設(shè)備 產(chǎn)品詳情

連續(xù)式四探針片電阻及光學(xué)膜厚測量設(shè)備設(shè)計(jì), 片電阻不受針尖距離影響多種型號以供選擇: 
自動上下片(Cassette to cassette, C2C) 
室溫至100°C 的測量(更高可選)
可添加并整合于多腔式的集束型架構(gòu)設(shè)備(cluster tool) 

亦可在連續(xù)式設(shè)備內(nèi)加入四探針片電阻及光學(xué)膜厚測量, 適合薄膜太陽能(銅銦鎵硒, CIGS)及平板顯示行業(yè)

基材尺寸: 
450mm晶圓 (樣品臺旋轉(zhuǎn))
370 x 470mm 長方形基底 (XY樣品臺)
連續(xù)式設(shè)備可以度身訂做, 沒有尺寸限制 
片電阻測量適合金屬薄膜、銅銦鎵硒、非晶硅(硅)、碲化鎘、鉬、透明導(dǎo)電薄膜(AlZnO2)、摻雜之后的硅(硅)、硅鍺及鍺 
0.1 – 100,000 單位面積奧姆值 (更高可選) 

可整合于連續(xù)式(INLINE)的生產(chǎn)線內(nèi), 而收集的測量數(shù)據(jù)可自動送到SCADA系統(tǒng)
光學(xué)膜厚測量功能可選 
測量光斑<1mm
波長: 380-1050nm
可測量膜厚: 15-50nm, 多可達(dá)250nm
短時(shí)間重復(fù)性: ~0.1nm 
長時(shí)間重復(fù)性:: ~0.1nm 

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