產(chǎn)品描述
電容薄膜規(guī)是?種膜?受到壓?后產(chǎn)?形變的引起電容變化并將其轉(zhuǎn)化為電信號(hào)的傳感器，信號(hào)的強(qiáng)弱由其檢測(cè)的壓???決定。
產(chǎn)品特點(diǎn)
? 測(cè)量全程數(shù)字化，量程在范圍內(nèi)任意遷移
? 數(shù)字通訊，避免?次儀表誤差，簡(jiǎn)化控制設(shè)備
? 強(qiáng)?的抗過載能?
? 快速的響應(yīng)時(shí)間
? 實(shí)測(cè)性能超越對(duì)外發(fā)布規(guī)格
? ?精度，?穩(wěn)定性
? 超寬補(bǔ)償溫度范圍：-20~＋80 ℃
? 模擬信號(hào)任意遷移
? 量程范圍: 10%-99%
? 替代傳統(tǒng)模擬信號(hào)電容薄膜規(guī)
? 快速開機(jī)預(yù)熱時(shí)間5s
? 壓?誤差：2.0‰，電壓誤差：1‰
產(chǎn)品應(yīng)?
? ?要求的應(yīng)?條件下，?快速的壓強(qiáng)測(cè)量
? ?于刻蝕、CVD、PVD、ALD半導(dǎo)體制造設(shè)備
? 半導(dǎo)體，光學(xué)，航空航天和化學(xué)制造
? 冷凍，?燥制造設(shè)備
? ?精度，?重復(fù)性真空測(cè)量
? ?業(yè)真空設(shè)備
性能和參數(shù)
供電 :24VDC（紋波?于10%）
?作電流 :20mA
輸出阻抗 :0（短路保護(hù)）
響應(yīng)時(shí)間:<100 ms
調(diào)零?式 :?板按鍵或軟件寫?
過載壓? :>5atm
輸出 :,0～10VDC， 4-20mA，，RS485等
重量 :約285克
繼電器輸出: 2xRelay
繼電器負(fù)載:2A 30VDC 0.5A 125VAC
電?連接 :D-Sub 9
溫度補(bǔ)償范圍: -20-80℃
精度 ±0.2%RDG:（±零點(diǎn)漂移，±分辨率）
使?溫度范圍;-40-125℃
溫度影響: 0.005% F.S./℃
儲(chǔ)存溫度范圍: -40-125℃
分辨率；0.01%F.S.
防護(hù) ：IP40
介質(zhì)接觸材質(zhì)： Al2O3 和316L不銹鋼
外殼 ：316L不銹鋼
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