1、產(chǎn)品介紹
無氧潔凈隧道爐能夠在氧氣濃度低至100 ppm 的氣氛中，保持100級潔凈度，加熱溫度可達 300℃ 的溫度，并實現(xiàn)多溫區(qū)烘烤產(chǎn)品。非常適合精密元器件晶圓，晶振退火，環(huán)氧樹脂固化等熱處理。連續(xù)式生產(chǎn)的模式，可以與前后工藝的自動化設備聯(lián)動，實現(xiàn)自動化生產(chǎn)。
2、產(chǎn)品特點
● 結構緊湊，占地面積小
● 是多種產(chǎn)品類型的小批量生產(chǎn)的理想選擇
● 箱體采用全氬弧焊焊接保證了持續(xù)的箱體密封性
● 自動充氮系統(tǒng)
● 配備HEPA耐高溫高效過濾器構筑無塵環(huán)境
● 外部采用烤漆雙重箱體結構
● 觸摸屏集成控制
3、選配功能
● 無紙記錄儀
● 485通訊或以太網(wǎng)通訊
● 氧氣含量分析儀
4、產(chǎn)品參數(shù)
| 型號 | YH-CL100-SDL-4500 |
| 含氧控制 | 100PPM以內 |
| 過濾效率 | 0.3um,>99.99% |
| 溫度范圍 | Room temp. +20~300℃ |
| 控溫精度 | +/- 1.0℃ |
| 溫度均勻性 | ±2.5%℃ |
| 內尺寸H*W*L | 60*500*3500（mm） |
| 外尺寸H*W*L | 1850*1300*4500（mm） |
| 電源 | 3 phase AC380V |
