工作特性:
特性 參數值
供電電壓 3VDC-10VDC 供電電流 20mA 工作溫度范圍 -20~+70℃ 補償溫度范圍 0~50℃ 零點精度
滿量程的 ±0.5% 響應時間
1ms(典型值) 預熱時間
35ms 校準氣體 清潔、干燥的氣體 總線標準 I2C,快速模式(小于400 KHZ) 耐壓 150psig 爆破壓力 200psig
額定參數:
60PSI
特性 參數值 供電電壓 -0.3VDC-11.0VDC 輸出引腳電壓 -0.3Vdc-3.0Vdc 儲存溫度范圍 -40~+100℃ 流量變化 10000 SLPM/S 共模壓力 流量 350 SLPM