真空電容壓力計 應(yīng)用
真空爐
真空包裝
等離子體滅菌器
冷凍干燥
真空蒸餾
石化行業(yè)
半導(dǎo)體行業(yè)
PECVD/ALD工藝設(shè)備
等離子體刻蝕工藝設(shè)備
真空電容壓力計 主要特點
行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)接頭
高精度:標(biāo)準(zhǔn)±0.5%讀數(shù),可選±0.25%讀數(shù)
精密膜片保證優(yōu)異的性能
工作溫度補償范圍寬
電路噪聲低、響應(yīng)快
不易受環(huán)境條件變化影響
出色的抗過壓設(shè)計
產(chǎn)品外形
過載和爆破壓力額定值
規(guī)格參數(shù)
量程 | 10Torr.A/1.33kPa.A |
精度 | ± 0.5%讀書; ±0.25%讀數(shù)(可選) |
工作電壓 | (18~24)V DC |
輸出信號 | (0~10)V DC |
工作溫度 | (10~50)℃ |
測量介質(zhì) | 氣體 |
電氣接頭 | 9 pin模擬接口 |
過程連接 | KF16 |
上電預(yù)熱時間 | 10min |
外殼材質(zhì) | 不銹鋼 |
接液材料 | 鎳基合金 |
接線定義