日本HORIBA UR-712M-B數(shù)字式自動壓力調節(jié)器
壓力控制器UR-Z700系列
常見的壓力控制器是UR-Z700系列，一款數(shù)字式自動壓力調節(jié)器。根據(jù)不同用途，該系列還劃分為控后端壓力的UR-Z700M系列和控前端壓力的UR-Z700M-B系列。該壓力調節(jié)器常運用于MOCVD或CVD工藝中。在工藝過程中，當供氣壓力突然發(fā)生變化時，管道或罐體內的壓力也隨之發(fā)生變化，這不僅會影響整條管路流量的穩(wěn)定，可能會對整臺設備的安全造成威脅。對于這個問題HORIBA集團研發(fā)出UR-Z700系列，通過快速響應，高精度，穩(wěn)定控制來調整管路壓力。面對這種情況，只要管路裝載UR-Z700系列就能夠穩(wěn)定的控制壓力，氣體質量流量控制器及反應源液的安全穩(wěn)定運行。
特征:
- 可使用DeviceNet控制接口
- 符合環(huán)保要求的RoHS處理
制造: HORIBA STEC
- 復合氣體/復合流量功能-氣體種類和全流量可以由客戶更改。
- 可變PID功能提供全流量范圍高速響應時間（在一秒以內）
- 緊湊型氣路-不需要調壓閥，壓力傳感器和過濾器
- 穩(wěn)定氣體流量控制，不受上流和下流壓力的影響
- 集成進氣端壓力傳感器
- 自身多種顯示
- 精度保證1%設定流量
- 超潔凈設計：金屬密封圈，所有都是SUS-316L不銹鋼，并且經過表面拋光（標準）
- 緊湊型尺寸-50SLM以內采用一樣的尺寸
- 信號兼容-模擬/RS485數(shù)字模式，DeviceNet模式
