9861 系列高溫質(zhì)量流量控制器和儀表
提升高溫流量控制的準(zhǔn)確性和效率
型號 9861
布魯克斯儀器 9861 系列高溫?zé)豳|(zhì)量流量控制器和儀表專為在高溫相關(guān)苛刻條件下輸送可冷凝前體和摻雜劑設(shè)計，該產(chǎn)品采用高純度、無泄漏一體化金屬流路，可確保兼容所有過程氣體和蒸汽。獲得的 IsoSensor™ 是一種穩(wěn)定性的流量傳感器，可兼容加熱氣體管線和烘干系統(tǒng)中苛刻的環(huán)境溫度。IsoSensor™ 傳感器的超低漂移性能可使高溫應(yīng)用無需頻繁重新調(diào)零和重新校準(zhǔn)。
特點
- 超穩(wěn)定的 IsoSensor™ 流量測量傳感器
- 高純度流路
- 遠程控制電子元件（標(biāo)配兩個模擬電子連接器）
- 數(shù)字測量和控制架構(gòu)
優(yōu)勢
- 傳感器穩(wěn)定性高，可保障超長運行時間、減少維護工作并降低總體擁有成本
- 全金屬接液流路可確保氣體/蒸汽完整性和純度
- 包括 20 引腳卡緣連接器和 9/15 引腳“D”連接器，可實現(xiàn)標(biāo)準(zhǔn)化并減少庫存
- 強化準(zhǔn)確性和過程控制
應(yīng)用
- 光纖制造 - MCVD
- 硅材料半導(dǎo)體器件加工工藝
