設(shè)備原理
通過搜集原子發(fā)射光譜并分析特征波段/波長的譜線實現(xiàn)對等離子體的監(jiān)控和反饋控制。
設(shè)備構(gòu)成
● 等離子體發(fā)光光譜儀
高性能光譜儀，覆蓋紫外到紅外波段，精度/靈敏度根據(jù)工藝需求選擇，可檢測絕大部分微加工制備工藝涉及的元素。
● 等離子體監(jiān)控&分析軟件
針對反饋控制，終點檢測，穩(wěn)定性監(jiān)控等多種工藝需求定制，可實時顯示光譜變化三維圖，優(yōu)化積分算法處理判定。根據(jù)用戶自定義添加的光譜數(shù)據(jù)庫。
● 光學(xué)系統(tǒng)集成
可定制化系統(tǒng)集成，真空外檢測和真空內(nèi)檢測多種集成方式，防鍍膜設(shè)計光學(xué)探頭。
主要功能和特色
● 實時等離子體光譜采集，全數(shù)據(jù)時域&頻域光譜分析
● 自動譜圖尋峰及原子譜線數(shù)據(jù)庫匹配
● 等離子體光譜單一峰位&連續(xù)波段積分強度監(jiān)視
● Recipe編譯/執(zhí)行操作模式
主要應(yīng)用
● 等離子體刻蝕終點檢測（IBE/IRBE/RIE/ICP-RIE）
● 等離子體穩(wěn)定度均勻度檢測（大面積離子源，腔內(nèi)等離子體分布）
● 等離子體反應(yīng)氣體組分控制（反應(yīng)濺射沉積，HiPims，PECVD，Plasma Clean，ATM Plasma）
| 高精度等離子體光譜檢測儀 | 高信噪比離子體光譜監(jiān)測儀 | 多通道等離子體光譜監(jiān)測儀 | |
| 主機型號 | CrookesI | CrookesI-Pro | CrookesI-Trident |
| 通道數(shù)量 | 1 | 1 | 3 |
| 光譜波長范圍 | 200 ~ 1100 nm | 220 ~ 980 nm | 200 ~ 1100 nm |
| 光譜分辨率 | 1.3 nm | 1.8 nm | 1.3 nm / 1.8 nm |
| 波長精度 | 0.12 nm | 0.2 nm | 0.12 nm/ 0.2 nm |
| 信噪比 | 500 : 1 | 1000 : 1 | 500 : 1 / 1000 : 1 |
| I/O接口 | 2 路模擬輸出、4 路模擬輸入、8 路數(shù)字輸入輸出 | ||
| 計算機通信接口 | GPIB / RS232 / USB | ||
| 尺寸 | 195 × 275 × 90 mm3 | ||
| 重量 | 2.5 kg | 2.5 kg | 3.5 kg |
| 用電 | 單相 220 V, 5 A | ||
