高精度真空探針臺的產(chǎn)品用途：探針臺主要應(yīng)用于傳感器，半導(dǎo)體，光電，集成電路以及封裝的測試，廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。可應(yīng)用于低溫或高溫真空環(huán)境下被測樣品的電學(xué)性能測試分析，如：半導(dǎo)體/微電子，電子，機電，物理，化學(xué)，材料，光電，納米，微機電/MEMS，生物芯片，航空航天等科學(xué)研究領(lǐng)域，以及IC設(shè)計/制造/測試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產(chǎn)制造領(lǐng)域。
高精度探針臺該探針臺的承載臺為60＊60不銹鋼臺面，臺面可升溫到350℃。真空腔體設(shè)計有進(jìn)氣口和抽真空接口。探針臂為x/y/z三軸移動，三個方向均可在真空環(huán)境下精密移位調(diào)節(jié)，其中x方向調(diào)節(jié)范圍：0--30mm; y方向調(diào)節(jié)范圍：0—20mm；z方向調(diào)節(jié)范圍：0—20mm；用戶可根據(jù)需要自行調(diào)節(jié)。使用時將需要檢測的器件固定在加熱臺上，再微調(diào)探針支架x/y/z方向行程，通過顯微鏡觀察，使探針對準(zhǔn)檢測點后，即可進(jìn)行檢測。
高精度真空探針臺的技術(shù)參數(shù)：
真空腔體 | |
腔體材質(zhì) | 304不銹鋼 |
上蓋開啟 | 鉸鏈側(cè)開 |
加熱臺材質(zhì) | 304不銹鋼 |
內(nèi)腔體尺寸 | φ160x90mm |
觀察窗尺寸 | Φ70mm |
加熱臺尺寸 | φ60mm |
觀察窗熱臺間距 | 75mm |
加熱臺溫度 | ﹣196~350℃ |
加熱臺溫控誤差 | ±1℃ |
真空度 | 機械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa |
允許正壓 | ≤0.1MPa |
真空抽氣口 | KF25真空法蘭 |
氣體進(jìn)氣口 | 3mm-6mm卡套接頭 |
電信號接頭 | SMA轉(zhuǎn)BNC X 4 |
電學(xué)性能 | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤500V |
探針數(shù)量 | 4探針 |
探針材質(zhì) | 鎢針 |
探針尖 | 10μm |
探針移動平臺 | |
X軸移動行程 | 30mm ±15mm |
X軸控制精度 | ≤0.01mm |
Y軸移動行程 | 13mm ±12.5mm |
Y軸控制精度 | ≤0.01mm |
Z軸移動行程 | 13mm ±12.5mm |
Z軸控制精度 | ≤0.01mm |
電子顯微鏡 | |
顯微鏡類別 | 物鏡 |
物鏡倍數(shù) | 0.7-4.5倍 |
工作間距 | 90mm |
相機 | sony 高清 |
像素 | 1920※1080像素 |
圖像接口 | VGA |
LED可調(diào)光源 | 有 |
顯示屏 | 8寸 |
放大倍數(shù) | 19-135倍,視場范圍15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm |
