AALBORG質(zhì)量流量控制器GFC
AALBORG質(zhì)量流量控制器GFC,產(chǎn)品概要
GFC 低成本鋁或不銹鋼熱式質(zhì)量流量控制器
設(shè)計(jì)特點(diǎn)
± 1% FS 精度為標(biāo)準(zhǔn)
剛性金屬結(jié)構(gòu)
可用流量范圍從 0 到 10 sccm 到 0 到 1000 slpm
壓力 1000 psig (70 bar)
泄漏完整性 1 x 10 -9 sccs 氦氣
NIST 可追溯認(rèn)證
內(nèi)置可傾斜 LCD 讀數(shù)(某些型號(hào))
本地或遠(yuǎn)程設(shè)定點(diǎn)控制
0-5 Vdc 和 4-20 mA 信號(hào)
電路保護(hù)
累加器選項(xiàng)
GFC 質(zhì)量流量控制器
GFC 型熱式質(zhì)量流量控制器旨在指示和控制氣體的設(shè)定流量。
GFC 將傳統(tǒng)質(zhì)量流量裝置的特性和精度結(jié)合到一個(gè)的緊湊型設(shè)計(jì)中,并且成本低,這是以前無法實(shí)現(xiàn)的。這些控制器中的每一個(gè)都包含一個(gè)的“U”形管傳感器,以及用于非腐蝕性氣體的鋁和黃銅或用于腐蝕性應(yīng)用的 316 不銹鋼制成的流道元件??梢詮淖兯推魍獠窟M(jìn)行零位和跨度調(diào)整。
操作原理
計(jì)量氣體分為兩條層流路徑,一條通過主流管道,另一條通過毛細(xì)管傳感器管。兩個(gè)流道都設(shè)計(jì)為確保層流,因此它們的流速比是恒定的。
傳感器管上的兩個(gè)精密溫度傳感繞組被加熱,當(dāng)流動(dòng)發(fā)生時(shí),氣體將熱量從上游帶到下游繞組。產(chǎn)生的溫差與傳感器繞組的電阻變化成正比。
惠斯通電橋設(shè)計(jì)用于監(jiān)測傳感器繞組上與溫度相關(guān)的電阻梯度,該電阻梯度與瞬時(shí)流量成線性比例。
產(chǎn)生 0 至 5Vdc 和 4 至 20mA 的輸出信號(hào),指示計(jì)量氣體的基于質(zhì)量分子的流速。
The combined gas streams flow through a proportionating electromagnetic valve with an appropriately selected orifice. 閉環(huán)控制電路連續(xù)監(jiān)測質(zhì)量流量輸出并將其保持在設(shè)定流量。
在規(guī)定的限制范圍內(nèi),流速不受溫度和壓力變化的影響。
一般說明
緊湊、獨(dú)立的 GFC 質(zhì)量流量控制器旨在指示和控制氣體的流速。堅(jiān)固的設(shè)計(jì)與儀表級(jí)精度相結(jié)合,提供了多功能且經(jīng)濟(jì)的流量控制方式。提供帶有工程單位(標(biāo)準(zhǔn))或 0 至 99% 顯示的讀數(shù)選項(xiàng)的鋁或不銹鋼型號(hào)。
內(nèi)置電磁閥允許在特定型號(hào)的范圍內(nèi)將流量設(shè)置為任何所需的流量。作為安全功能,閥門通常處于關(guān)閉狀態(tài),以確保在斷電的情況下關(guān)閉氣流。設(shè)定點(diǎn)在本地或遠(yuǎn)程控制。
內(nèi)置于傳感器頂部的 LCD 讀數(shù)可傾斜 90 度以上,以提供的閱讀舒適度。它通過標(biāo)準(zhǔn)的模塊化插頭連接到傳感器,并且可以輕松拆卸以進(jìn)行遠(yuǎn)程讀取安裝。為 OEM 應(yīng)用提供不帶 LCD 讀數(shù)的傳感器。
GFC 質(zhì)量流量控制器的流量范圍為 10 sccm 至 1000 sL/min N2。氣體通過 1/4”、3/8” 或可選的 1/8” 壓縮接頭和 3/4” FNPT 接頭連接??蛇x配件可供選擇。這些控制器可用作臺(tái)式裝置或通過螺釘安裝在底座上。
傳感器電源端口有保險(xiǎn)絲和極性保護(hù)。
泄漏完整性
1 x 10 -9 smL/sec 的氦氣至外部環(huán)境。