1. MCV-5003激光多普勒干涉儀 MCV-5002激光多普勒干涉儀加上RT-100A自動(dòng)測(cè)量轉(zhuǎn)臺(tái)而組成MCV-5003激光多普勒干涉儀。 2. MCV-5003主要測(cè)量功能 1) 直線位移測(cè)量 2) 大型龍門式機(jī)床主動(dòng)軸從動(dòng)軸直線位移同步測(cè)量功能 3) 分軸步進(jìn)對(duì)角線測(cè)量。 4)角偏測(cè)量 5)直線度測(cè)量 6)第四軸、第五軸回轉(zhuǎn)精度測(cè)量 7)兩導(dǎo)軌平行度測(cè)量
功能選型：激光多普勒干涉儀
MCV-5003激光多普勒干涉儀 的“雙激光頭分體設(shè)計(jì)”，專為大型五軸聯(lián)動(dòng)機(jī)床開發(fā)。針對(duì)性解決雙驅(qū)動(dòng)類、長行程類、五軸聯(lián)動(dòng)類檢測(cè)。涵蓋全部激光干涉儀功能，是大型機(jī)床研發(fā)制造和大型機(jī)構(gòu)科研計(jì)量的。適合數(shù)控加工，數(shù)控車床、線切割、精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)、大型龍門機(jī)床。
| MCV-5003基本技術(shù)參數(shù) | 激光頻率穩(wěn)定性 | ±0.05ppm |
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| 氦氖激光管 | 2級(jí) |
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| 激光輸出功率 | ＜1mW |
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| 激光管壽命 | 40000小時(shí) |
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| 空氣溫度傳感器精度 | ±0.1 ℃ |
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| 空氣壓力傳感器精度 | ±1.1mmHg |
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| 材料溫度傳感器精度 | ±0.1 ℃ |
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| 環(huán)境溫度（濕度） | 5-38 ℃（0-95％） |
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| 電源電壓（電源頻率） | 90-265V（50-60Hz） |
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| 線性位移測(cè)量 | 測(cè)量距離 | ≥30m（60m,100m可選） |
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| 分辨率 | 1nm |
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| 精度 | ±0.5ppm |
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| 速度 | 5m /秒 |
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| 主從動(dòng)軸同步性檢測(cè) | 數(shù)據(jù)采樣速率 | 1-1000個(gè)數(shù)/秒 |
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| 角偏(俯仰角、偏擺角) | 測(cè)量距離 | ≥30m（60m,100m可選） |
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| 分辨率 | 0.2秒 |
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| 精度 | ±0.2%±0.2 秒 |
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| 測(cè)量范圍 | 角度：±10 度 |
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| 速度 | 4m /秒 |
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| 直線度測(cè)量 | 測(cè)量距離 | ≥30m（60m,100m可選） |
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| 精度 | ±0.2%±0.01 微米 |
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| 測(cè)量范圍 | ±1000 微米 |
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| 速度 | 4m /秒 |
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| 向量法體對(duì)角線檢測(cè) | 分辨率 | 1nm |
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| 精度 | ±0.5ppm |
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| 測(cè)量范圍 | 3m×2m×1m |
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| 速度 | 4m /秒 |
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| 可檢測(cè)出機(jī)床3個(gè)定位精度、6個(gè)直線度、3個(gè)垂直度誤差 |
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| 垂直度檢測(cè) | 用SD附件 | 同上 |
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| 轉(zhuǎn)臺(tái)測(cè)量 | 轉(zhuǎn)臺(tái)測(cè)量分辨率 | 0.02秒 |
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| 轉(zhuǎn)臺(tái)測(cè)量精度 | 1秒 |
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| 測(cè)量范圍 | 0-360度 |
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| 兩導(dǎo)軌平行度檢測(cè) | 距離 | ≥30m（60m,100m可選） | ||
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| 分辨率 | 1nm | ||
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| 精度 | ±1ppm | ||
