MT-400AH工具金相顯微鏡是蘇州卡斯圖電子有限公司根據(jù)半導(dǎo)體客戶研發(fā)的一款高精度測(cè)量設(shè)備。使測(cè)量物體精確的對(duì)準(zhǔn)樣品邊緣是至關(guān)重要的,本設(shè)備采用新進(jìn)的光學(xué)設(shè)計(jì),保證了高質(zhì)量的邊緣檢測(cè)和顯微檢測(cè)。在直線校準(zhǔn)中,采用夾線和叉線進(jìn)行觀測(cè),比單純使用一個(gè)直線進(jìn)行觀測(cè)所獲得的結(jié)果更為精確。在主機(jī)設(shè)計(jì)方面,我們致力于增強(qiáng)它與操作人員之間的親和性以及操作的舒適性。此外,我們還采用了抗疲勞設(shè)計(jì),操作人員即使長(zhǎng)時(shí)間使用,也不會(huì)感到疲勞和不適。新近研發(fā)的FA照明器具有分光棱鏡輔助對(duì)焦功能,可提供更銳利的圖案??稍赯軸測(cè)量期間提供精確對(duì)焦,由于不同物鏡焦深差異導(dǎo)致的測(cè)量誤差被降至。兩側(cè)均配備了同軸粗/微調(diào)手輪,以速度實(shí)現(xiàn)對(duì)焦,儀器內(nèi)置高精度光柵尺,可進(jìn)行精確的3軸測(cè)量。
特征及優(yōu)勢(shì)
■ 配置完善,測(cè)量精準(zhǔn)
■ 平臺(tái)可快速移動(dòng),方便大尺寸產(chǎn)品測(cè)量
■ 符合人體設(shè)計(jì)的光學(xué)觀察
■ 測(cè)量數(shù)值實(shí)時(shí)顯示
■ 主機(jī)臺(tái)快速測(cè)量,電腦端同步展示
■ 便捷強(qiáng)大的測(cè)量分析軟件
■ 可選配晶圓臺(tái)
■ 校準(zhǔn)和線性檢測(cè)
■ 包含獨(dú)立儀器桌、臺(tái)式電腦、鍵盤(pán)、鼠標(biāo)和 22英寸的顯示器
■ 標(biāo)準(zhǔn)尺
儀 器 型 號(hào) | MT-300AH | MT-400AH | MT-500AH | ||||
工 作 臺(tái) | 鑄鐵臺(tái)尺寸(mm) | 356×266 | 487×367 | 606×476 | |||
玻璃臺(tái)尺寸(mm) | 260×160 | 345×245 | 445×345 | ||||
運(yùn)動(dòng)行程(mm) | 200(X)×150(Y) | 300(X)×200(Y) | 400(X)×300(Y) | ||||
調(diào)焦行程(mm) | 100 | 100 | 150 | ||||
放大倍數(shù)與攝像系統(tǒng) | 500萬(wàn)像素工業(yè)相機(jī),可拍照可測(cè)量 | ||||||
物鏡5X,10X,20X,50X (100選配) 目鏡:10X/20 | |||||||
X軸/Y軸顯示精度:0.0001mm Z軸顯示精度:0.0001MM | |||||||
總放大倍數(shù)50X-500X | |||||||
示值誤差 | X.Y≤(2.5+L/200)um | Z≤(3.5+L/50)um(L為被測(cè)長(zhǎng)度單位:mm) | |||||
照明系統(tǒng) | LED環(huán)形表面光+底部平行光 | ||||||
外形尺寸(mm) (長(zhǎng)×寬×高) | 600×550×780 | 760×580×820 | 970×750×1000 | ||||
承重 | 20kg | 20kg | 25kg | ||||
儀器重量(kg) | 150kg | 170kg | 200kg | ||||
儀器電源 | 220V(AC) 50HZ |
由于微觀結(jié)構(gòu)檢測(cè)趨于細(xì)微化,不僅要滿足觀察和測(cè)量這一生產(chǎn)和質(zhì)量管理原則,而且測(cè)量顯微鏡同時(shí)對(duì)其精度要求也越來(lái)越高
人體工程設(shè)計(jì)
在顯微鏡主機(jī)設(shè)計(jì)方面,我們致力于增強(qiáng)它與操作人員之間的親和力以及操作的舒適性。其儀器設(shè)計(jì)十分便于操作。此外,它還采用了抗體疲勞設(shè)計(jì),操作人員及時(shí)長(zhǎng)時(shí)間使用,也不會(huì)感到疲勞和不適。
輔助對(duì)焦
新近研發(fā)的FA照明器具有分光棱鏡輔助對(duì)焦功能,可提供更銳利的圖案??稍赯軸測(cè)量期間提供精確對(duì)焦,由于不同物鏡焦深差異導(dǎo)致的測(cè)量誤差被降至。