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CCP干法刻蝕機

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地上海
  • 更新時間2024-07-03
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 入駐年限1
  • 實名認證已認證
  • 產(chǎn)品數(shù)量25
  • 人氣值408
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沛沅儀器是一家集等離子體技術(shù)設(shè)計、制造、產(chǎn)品開發(fā)、銷售與服務(wù)于一體的技術(shù)型企業(yè),公司致力于提供專業(yè)的等離子表面處理系統(tǒng),向用戶提供國內(nèi)*的等離子表面處理設(shè)備和優(yōu)質(zhì)專業(yè)的服務(wù)。

公司技術(shù)團隊67%以上具備碩士或碩士以上學位,公司由*從事等離子體應(yīng)用技術(shù)研究開發(fā)、多次參與國家重大科學工程研究的專家和產(chǎn)業(yè)化專家聯(lián)合創(chuàng)建,提供一系列等離子體表面處理系統(tǒng)、等離子體刻蝕系統(tǒng)、常壓等離子清洗設(shè)備等,并與中科院上海應(yīng)用物理研究所,復(fù)旦大學,中國科技大學,上海科技大學,上海交通大學等建立了密切的技術(shù)合作交流關(guān)系。

 

公司的愿景是成為等離子體應(yīng)用領(lǐng)域的優(yōu)質(zhì)供應(yīng)企業(yè),用科研的沉淀和應(yīng)用的創(chuàng)新,為中國的制造業(yè)崛起和化戰(zhàn)略貢獻一份力量。

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PLUTO-WIN是面向科研及企業(yè)研發(fā)客戶使用需求設(shè)計的高性價比CCP等離子體系統(tǒng)。作為一個多功能系統(tǒng),它通過優(yōu)化的系統(tǒng)設(shè)計與靈活的配置方案,獲得高性能CCP刻蝕工藝。該設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊占地面積小,專業(yè)的機械設(shè)計與優(yōu)化的自動化操作軟件使該設(shè)備操作簡便、安全,且工藝穩(wěn)定重復(fù)性很好。
CCP干法刻蝕機 產(chǎn)品詳情
產(chǎn)品特點

-刻蝕形貌好、工藝性能

-高選擇比、高刻蝕速率

-低擁有成本和消耗成本



技術(shù)參數(shù)


晶圓尺寸:6/8寸兼容

適用工藝:等離子體刻蝕

適用材料:SiO2,Si3N4,etc.



應(yīng)用領(lǐng)域

適用領(lǐng)域:化合物半導(dǎo)體、MEMS、功率器件、科研等領(lǐng)域


正文圖片.png

SiO2 4um SiO2 2um SiN 2um


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