測(cè)定范圍 | 相對(duì)基準(zhǔn)圓±1.2mm、150°的范圍 |
基準(zhǔn)圓半徑 | R3.5mm |
回轉(zhuǎn)精度 | 2μm以下 |
采樣數(shù) | 10,000點(diǎn)/回轉(zhuǎn) |
測(cè)針 | R30μm 100mN以下 |
測(cè)定倍率 | 10~50倍 |