類型 8711 - 氣體質(zhì)量流量控制器 (MFC)
類型描述
8711 型質(zhì)量流量控制器 (MFC) 適合在大流量范圍內(nèi)對(duì)氣體進(jìn)行質(zhì)量流量控制。直接位于氣流中的熱 MEMS 傳感器可以實(shí)現(xiàn)速度的響應(yīng)。一個(gè)直動(dòng)式 Bürkert 比例閥作為執(zhí)行元件,確保了良好的響應(yīng)靈敏度。集成 PI 控制器,令 MFC 具備的控制特性。8711 型設(shè)備可以針對(duì)兩種不同的氣體進(jìn)行校準(zhǔn),用戶可以在兩者之間進(jìn)行切換。作為電氣接口,既提供模擬標(biāo)準(zhǔn)信號(hào),也提供現(xiàn)場總線。8711 型質(zhì)量流量控制器適合多樣化應(yīng)用,例如燃燒器控制、熱處理、材料涂層、生物反應(yīng)堆、燃料電池技術(shù)或者試驗(yàn)臺(tái)。
● 標(biāo)稱流量范圍:0.010 lN/min 至 80 lN/min
● 測量精度和重復(fù)性高
● 調(diào)控速度特別快
● 選配:現(xiàn)場總線接口