Xslicer SMX-6010是一款堅直照射型x射線檢查設(shè)備，配備了島津生產(chǎn)的微焦點x射線發(fā)生器和高分辦率平板探測器。通過高清晰度和寬動態(tài)范圍圖像，可以觀察到細微的內(nèi)部結(jié)構(gòu)和缺陷。此外，可以簡單快速地進行透視/CT模式切換，根據(jù)工作要求實施多種觀察。Xslicer SMX-6010所覆蓋的檢查從體積不斷縮小的電子元件到密度日益提高的多層實裝基板。
傾斜CT拍攝的原理與特點
?可高倍放大拍攝板狀樣品
■ 傾斜CT
傾斜CT拍攝大型實裝板等時
因樣品在XY載物臺上，所以可移近X射線發(fā)生裝置，進行高倍放大拍攝。
■ 直線CT
直線CT拍攝大型基板等時
如果為獲得高放大倍率而將樣品靠近X射線發(fā)生裝置側(cè)，CT拍攝中樣品會與X射線互相干擾，從而無法進行高倍放大攝影。
?觀察事例
如果是基板上的樣品，則不同于受樣品寬度影響的直線CT，傾斜CT可進行高放大倍率攝影。
系統(tǒng)構(gòu)成
?方便維護的本公司自制X射線發(fā)生裝置與搭載各種安全機構(gòu)的系統(tǒng)，實現(xiàn)更低成本、更安全的使用.
X射線發(fā)生裝置:搭載了管電壓160kV·1μm分辨率 開放管X射線發(fā)生裝置。實現(xiàn)高壓發(fā)生器的一體化，無需進行高壓電纜維護。自動調(diào)整功能，使更換燈絲更加簡便。
※1μm分辨率：JIMA Chart測試
X射線檢出器:搭載300萬像素平板檢出器。
5軸載物臺
除搭載樣品的載物臺的XYZ軸外，檢出器也會傾斜、旋轉(zhuǎn)。5軸聯(lián)動，支持所有角度的檢查。
X射線防護箱
屏蔽向設(shè)備外部泄漏的X射線（泄漏到外部的射線低于1μSv/h）。具有正面門扉鎖定機構(gòu)， X射線照射時，正面門扉無法打開。同時，具有聯(lián)鎖機構(gòu)，門扉打開的狀態(tài)下，5軸載物臺不移動。
碰撞檢測傳感器
X射線檢出器的周圍裝有碰撞檢測傳感器，緊急時（樣品碰撞時），驅(qū)動系統(tǒng)停止工作。
配套
僅在AC200 V±10 % 1.5 kVA（接地電阻100Ω以下）的條件下可動作。無需供應(yīng)空氣、冷卻水等。
