所有氣體質(zhì)量流量傳感器均通過熱交換運(yùn)行——流動和壓差。硅芯片設(shè)計(jì)源自薄膜、隔熱橋結(jié)構(gòu)，包含加熱和熱敏組件。這可以對空氣或氣體流量和方向作出快速響應(yīng)，提供相應(yīng)的輸出電壓。放大型能提供更強(qiáng)的輸出信號和更少的外部電路，而未放大型可選擇更多的外部電路。

霍尼韋爾 Zephyr™ HAF 系列傳感器為的滿量程流量范圍及溫度補(bǔ)償范圍內(nèi)讀取氣流數(shù)據(jù)提供一個數(shù)字界面。隔熱加熱器和溫度感應(yīng)元件可幫助傳感器對空氣流或其他氣流做出快速響應(yīng)。

Zephyr 傳感器旨在測量空氣和其他無腐蝕性氣體的質(zhì)量流量。標(biāo)準(zhǔn)流量范圍為 10 SLPM、15 SLPM、20 SLPM、50 SLPM、100 SLPM、200 SLPM 或 300 SLPM，另具可定制化的流量范圍供您選擇。這些傳感器利用電路板上的專用集成電路 (ASIC) 進(jìn)行全面的校準(zhǔn)和溫度補(bǔ)償。

HAF 系列 >10 SLPM 已經(jīng)在經(jīng)校準(zhǔn)的 0 °C 至 50 °C [32 °F 至 122 °F] 溫度范圍進(jìn)行補(bǔ)償。的基于 ASIC 的補(bǔ)償能夠?qū)崿F(xiàn)數(shù)字 (I2C) 輸出和 1 毫秒的響應(yīng)時間。

這些傳感器根據(jù)熱傳遞原理測量氣流的質(zhì)量流量。它們由含有熱電阻微橋的微機(jī)電傳感系統(tǒng) (MEMS) 組成，薄膜鉑電阻沉積于氮化硅薄膜上。MEMS 傳感芯片位于精密設(shè)計(jì)的氣流通道內(nèi)，提供對于流量的可重復(fù)響應(yīng)。

Zephyr 傳感器可以為客戶提供增強(qiáng)的可靠性、高準(zhǔn)確度、可重復(fù)測量等性能，并且能夠定制傳感器以滿足許多具體的應(yīng)用要求。堅(jiān)固外殼和穩(wěn)定基底相結(jié)合使得這些產(chǎn)品極其堅(jiān)固耐用。它們的設(shè)計(jì)與制造符合 ISO 9001 標(biāo)準(zhǔn)。