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4吋激光干涉儀

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地上海
  • 更新時間2024-05-09
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 所在地區(qū)上海
  • 實名認證已認證
  • 產(chǎn)品數(shù)量11
  • 人氣值29
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激光干涉儀采用相移技術(shù)準確表征被測表面的三維形貌,測量精度高達 0.06um 甚至更高,廣泛用于平面光學元件高精度檢測。
4吋激光干涉儀 產(chǎn)品詳情

4吋激光干涉儀

激光干涉儀采用相移技術(shù)準確表征被測表面的三維形貌,測量精度高達 0.06um 甚至更高,廣泛用于平面光學元件高精度檢測。

應(yīng)用

廣泛用于平面光學元件高精度檢測。

特點

1. 準確測量 100mm 口徑以下的光學元件的透射波前、反射波前。
2. 測量精度和測量重復性能媲美美國 Zygo 和 4D 干涉儀。
3. 根據(jù)客戶要求定制開發(fā)。

  • 技術(shù)指標


     項目

      型號

     測量方式

      菲索干涉原理

     移相方式

      波長移相或機械移相

     主機波長

      632.8nm  (可定制)

     主相機分辨率

      2048*2048

     測量口徑

      4-inch(101.6mm)

     主相機調(diào)焦能力

      有

     主相機采集速度

      50Hz

     透射平面參考鏡面形誤差(PV)

      λ/10

     反射平面參考鏡面形誤差(PV)

      ≦ λ/10(可定制 λ/20)

     空腔精度(PV)

      ≦ λ/10,  λ=632.8nm

     面形誤差測量重復性(RMS)

      ≦ 1nm  (2δ)

     測量高平行度光學元件透、反射波前

      支持

     標準配件

      計算機 、條紋監(jiān)視及分析軟件

     相干長度

      1.0m  (若被擴束,此參數(shù)會變長)

     工作溫度要求

      22℃ ±1℃

     工作溫度波動要求

      每小時變化小于 1℃

     工作濕度要求

      55%±10%RH

     隔震要求

      氣浮平臺,固有頻率:1-2Hz

     工作電壓

      AC 110-220V,50/60Hz


關(guān)鍵詞:激光干涉儀 標準
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