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MFC202系列,氣體質量流量控制器

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地上海
  • 更新時間2024-04-25
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MFC 系列熱式質量流量控制器為多功能產品,該產品的設計易于使用,方便進行流量檢測與控制。本類產品標準工作壓力為500psig,標準標定時采用空氣、氦氣、氫氣、二氧化碳,其他氣體標定可按要求進行。
所有流量計和控制器均由316L不銹鋼棒料制造,可用流量范圍從0-10sccm到0-20lpm,其精度可高達±1%滿刻度。并且每臺儀器都可提供可追溯的NIST標定證書。電路設計可以抗高射頻干擾,且響應速度很快,從而確保性能可靠和精度。

特點


• 全量程±1%精度
• 經過驗證的可靠性
• 量程–20,000 sccm
• NIST 可追溯校準

應用


• 泄漏測試
• 醫(yī)療研究
• 氣象淀積
• 研發(fā)和工藝流程
• 半導體制程
• 污染檢測
• 氣體混合
• 色譜分析

技術指標

MFC202
精確度和線性度 ±1% 量程
重復精度 ±0.05% 量程
標準額定壓力 500 psig
壓力系數 典型-0.0067%/psi (0-1000 psig N2 )
控制閥壓降* 15-65 psig
整體泄漏率 <1x10-9 sccs
溫度系數 3 ±0.035% 量程/°C (0-60°C)
  量程 ±0.05%讀數/°C (0-60°C)
標準溫度和壓力 0°C760
電源 ±15 VDC @ ±60 mA/-185 mA
流量信號 (本征線性) 0-5VDC
控制信號 0-500 VDC or 4-20 mA
接觸介質的材料 316不銹鋼, 302不銹鋼, , Viton®, 82/18
Au/Ni
釬焊, 微量銀焊接, Kalrez®
連接器 15針微型 D
接頭 1/4" 1/8" 卡套
重量  
1.8 lb (0.82 kg)

選型表

MFC-202訂貨號 流量范圍 1/4"卡套 1/8"卡套
MFC-202-2-10  0-10 SCCM       ⊙
MFC-202-2-100  0-100 SCCM       ⊙
MFC-202-2-500  0-500 SCCM       ⊙
MFC-202-2-1000  0-1000 SCCM       ⊙
MFC-202-4-3L  0-3 SLM     ⊙  
MFC-202-4-5L  0-5 SLM     ⊙  
MFC-202-4-10L  0-10 SLM     ⊙  
MFC-202-4-20L  0-20 SLM     ⊙  



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