Micro LED激光巨量轉(zhuǎn)移
◆特點(diǎn)：
·激光巨量轉(zhuǎn)移系統(tǒng);
·高精度運(yùn)動(dòng)控制;
·自動(dòng)對(duì)位;
·多功能夾具;
·多儀器搭載，支持轉(zhuǎn)移后晶粒壞點(diǎn)修復(fù);
·轉(zhuǎn)移膜。
| 項(xiàng)目 | 規(guī)格 |
| 尺寸 | 長(zhǎng)*寬高:可定制 |
| 測(cè)試樣品大小 | Micro LED |
| 巨量轉(zhuǎn)移方式 | 激光 |
| 激光器型號(hào) | 進(jìn)? |
| 運(yùn)動(dòng)系統(tǒng) | 采用高精度伺服電機(jī),高精度滾珠螺桿,亞微米級(jí)。定位精度0.1um |
| 良率、精度 | 1.掃描判別率> 9.999% (扣除外觀不良) 2.重復(fù)性對(duì)位精度土0.5um |
| 軟件 | 特儀自主開(kāi)發(fā)之軟件,全中文版,C#編程模塊化。 操作簡(jiǎn)單,UI界面可依據(jù)客 戶需求進(jìn)行定制,軟件自帶各標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試手法,可以通過(guò)直接調(diào)用模式進(jìn)行測(cè)試 |
