目前，功率半導(dǎo)體器件市場呈現(xiàn)出集成化和模塊化、高性能和高可靠性、多電平技術(shù)、新型器件結(jié)構(gòu)和工藝、智能化和可重構(gòu)等發(fā)展趨勢和發(fā)展方向。功率半導(dǎo)體器件作為應(yīng)用于嚴(yán)苛環(huán)境下的高功率密度器件，對器件可靠性要求居于所有半導(dǎo)體器件的前列。因此，對器件精準(zhǔn)的性能測試要求、符合使用場景的可靠性測試條件以及準(zhǔn)確的失效分析方式將有效的提升功率半導(dǎo)體器件產(chǎn)品的性能及可靠性表現(xiàn)。
不同材料、不同技術(shù)的功率器件的性能差異很大。市面上傳統(tǒng)的測量技術(shù)或者儀器儀表一般可以覆蓋器件特性的測試需求。但是寬禁帶半導(dǎo)體器件碳化硅（SiC）或氮化鎵（GaN）的技術(shù)卻極大擴(kuò)展了高壓、高速的分布區(qū)間，如何精確表征功率器件高流/高壓下的I-V曲線或其它靜態(tài)特性，這就對器件的測試工具提出更為嚴(yán)苛的挑戰(zhàn)。
靜態(tài)參數(shù)主要是指本身固有的，與其工作條件無關(guān)的相關(guān)參數(shù)。靜態(tài)參數(shù)測試又叫穩(wěn)態(tài)或者DC（直流）狀態(tài)測試，施加激勵(電壓/電流)到穩(wěn)定狀態(tài)后再進(jìn)行的測試。主要包括：柵極開啟電壓、柵極擊穿電壓、源極漏級間耐壓、源極漏級間漏電流、寄生電容(輸入電容、轉(zhuǎn)移電容、輸出電容)，以及以上參數(shù)的相關(guān)特性曲線的測試。第三代半導(dǎo)體器件測試設(shè)備認(rèn)準(zhǔn)普賽斯儀表咨詢
圍繞第三代寬禁帶半導(dǎo)體靜態(tài)參數(shù)測試中的常見問題，如掃描模式對SiC MOSFET 閾值電壓漂移的影響、溫度及脈寬對SiC MOSFET 導(dǎo)通電阻的影響、等效電阻及等效電感對SiC MOSFET導(dǎo)通壓降測試的影響、線路等效電容對SiC MOSFET測試的影響等多個維度，針對測試中存在的測不準(zhǔn)、測不全、可靠性以及效率低的問題，普賽斯儀表提供一種基于國產(chǎn)化高精度數(shù)字源表(SMU)的測試方案，具備更優(yōu)的測試能力、更準(zhǔn)確的測量結(jié)果、更高的可靠性與更全面的測試能力。具有高電壓和大電流特性、μΩ級導(dǎo)通電阻精確測量、n安級電流測量能力等特點。支持高壓模式下測量功率器件結(jié)電容，如輸入電容、輸出電容、反向傳輸電容等。
P300高精度脈沖源表
- 脈沖直流，簡單易用
- 范圍廣，高至300V低至1pA
- 最小脈沖寬度200μs
- 準(zhǔn)確度為0.1%
E系列高電壓源測單元
- ms級上升沿和下降沿
- 單臺最大3500V電壓輸出(可擴(kuò)展10kV)
- 測量電流低至1nA
- 準(zhǔn)確度為0.1%
HCPL100高電流脈沖電源
- 輸出電流達(dá)1000A
- 多臺并聯(lián)可達(dá)6000A
- 50μs-500μs的脈沖寬度可調(diào)
- 脈沖邊沿陡(典型時間15us)
- 兩路同步測量電壓(0.3mV-18V)
而GaN HEMT器件主要工作于大功率、高效率的微波毫米電路中，其機(jī)理相對更為復(fù)雜，主要體現(xiàn)在器件陷阱效應(yīng)和自熱效應(yīng)中。GaN HEMT器件的陷阱效應(yīng)會引起柵和漏滯后效應(yīng)，不利于建模工作和器件射頻應(yīng)用；而自熱效應(yīng)主要體現(xiàn)在脈寬對GaN HEMT器件測試的影響。因此，針對氮化鎵(GaN)包括砷化鎵(GaAs)等材料構(gòu)成的高速器件的I-V測試，普賽斯儀表全新推出的CP系列脈沖恒壓源可以高效快速解決測試難題。
CP系列脈沖恒壓源
- 直流/脈沖兩種電壓輸出模式
- 大脈沖電流，最高可至10A
- 超窄脈寬，低至100ns
- 插卡式設(shè)計，1CH/插卡，最高支持10通道
第三代半導(dǎo)體器件測試設(shè)備認(rèn)準(zhǔn)普賽斯儀表，普賽斯專業(yè)研究和開發(fā)半導(dǎo)體材料與器件測試的專業(yè)智能裝備，產(chǎn)品覆蓋半導(dǎo)體領(lǐng)域從晶圓到器件生產(chǎn)全產(chǎn)業(yè)鏈。推出基于高精度數(shù)字源表(SMU）的第三代半導(dǎo)體功率器件靜態(tài)參數(shù)測試方案，為SiC和GaN器件提供可靠的測試手段，實現(xiàn)功率半導(dǎo)體器件靜態(tài)參數(shù)的高精度、高效率測量和分析。如果您對普賽斯功率半導(dǎo)體器件靜態(tài)參數(shù)測試方案和國產(chǎn)化高精度源表感興趣，歡迎隨時聯(lián)系我們！
