一、射頻發(fā)生器
電 路 類 型 | 他激式固態(tài)射頻發(fā)生器，由兩只金屬氧化物場(chǎng)效應(yīng)管MOSFET管組成的推挽放大電路，全自動(dòng)點(diǎn)火，全自動(dòng)匹配調(diào)諧，計(jì)算機(jī)實(shí)時(shí)監(jiān)控，全自動(dòng)化自動(dòng)控制。 | 工作頻率 | 27.12MHz±0.05% |
頻率穩(wěn)定性 | <0.01% | ||
輸出功率 | 800－1500w | ||
輸出功率穩(wěn)定性 | ≤0.1% | ||
電磁場(chǎng)泄漏射強(qiáng)度 | 距機(jī)身30cm | ||
電場(chǎng)強(qiáng)度E | <1V/m | ||
磁場(chǎng)強(qiáng)度H | <0.2A |
二：進(jìn)樣系統(tǒng)
輸出工作線圈內(nèi)徑 | 25mm， 3匝 | 炬管 | 三重同心石英炬管 |
同軸型噴霧器外徑 | 6mm | 雙筒形霧室外徑 | 35mm |
氬氣流量計(jì)規(guī)格和載氣壓力表規(guī)格 | 等離子氣流量計(jì)（100-1000）L/h ；(1.6-16L/min) | ||
輔助氣流量計(jì)（10-100）L/h ；(0.16-1.66L/min) | |||
載氣流量計(jì)（10-100）L/h ；(0.16-1.66L/min) | |||
載氣穩(wěn)壓閥（0-0.6M Pa） | |||
三、測(cè)光系統(tǒng)
光電倍增管規(guī)格 | R212UH | 信號(hào)采集為V/F交換 | 1mV對(duì)應(yīng)100Hz |
光電倍增管負(fù)高壓 | 200-1000V 穩(wěn)定性<0.05% | 光電倍增管電流測(cè)量范圍 | 10-12 -10-4A |
三、分光系統(tǒng)
光路 | Czerny- Turner | 焦距 | 1000mm | |
光柵規(guī)格 | 離子刻蝕全息光柵 | 刻線密度 | 3600線/mm | |
分辨率 | ≤0.008nm | 刻線面積 | 80×110mm | |
示值誤差 | ≤±0.03nm | 波長(zhǎng)范圍 | 180-500 nm | |
透鏡 | ф30，1：1成像 | 入射狹縫 | 20μm | |
發(fā)射鏡規(guī)格 | （78× 105 × 16）mm | 出射狹縫 | 20μm | |
步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)最小步距 | 0.0005nm | |||
