/產/品/詳/情
PRDUCT DETAILS
/SuperViewW1光學3D表面輪廓儀
技術參數
性能特點
高精度、高重復性:采用光學干涉技術、精密Z向掃描模塊和優(yōu)異的3D重建算法組成測量系統;的隔振系統加持;
環(huán)境噪聲檢測功能:具備0.1nm分辨率的環(huán)境噪聲檢測模塊,能夠定量評估出外界環(huán)境對儀器掃描軸的震動干擾;
精密操縱手柄:集成X、Y、Z三個方向位移調整功能的操縱手柄,可快速完成載物臺平移、Z向聚焦、找條紋等測量前工作;
雙重防撞保護措施:在初級的軟件ZSTOP設置Z向位移下限位進行防撞保護外,另在Z軸上設計有機械電子傳感器,限度的保護儀器;
雙通道氣浮隔振系統:既可以接入客戶現場的穩(wěn)定氣源也可以接入標配空壓機,在無外接氣源條件下可穩(wěn)定工作。
XtremeVision 3D測量分析軟件
一體化操作軟件,測量與分析同界面操作,預先配置好分析參數,軟件自動統計測量數據,實現快速批量測量功能。
/應/用/實/例
APPLICATION INSTANCE
SuperView W1光學3D表面輪廓儀可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、工、科研院所等領域中。
應用案例
▲超光華陶瓷樣件測量
?復合材料測量
?超疏水表面形貌測量
?水機葉片磨損檢測