SXUV極紫外光電二極管，有效面積5-331mm2

Optodiode極紫外光電二極管也可以稱為SXUV光電探測器或者是極紫外光電探測器。，是極紫外光探測的理想選擇。該二極管具有單個有效區(qū)域，暴露在紫外的情況下依舊能夠穩(wěn)定的響應，保護改版，檢測范圍1nm，SXUV100極紫外光電探測器有效面積是100mm²，在1-1000nm下光子的響應度是0.04-0.34A/W。電容隨著電壓的增加而降低最后達到最小1000pF，暗電流隨著電壓的增大而增大。

SXUV極紫外光電二極管型號

SXUV極紫外光電二極管具有的13.5nm光刻能力，在1nm至190nm的紫外曝光下具有穩(wěn)定的響應度，是極紫外光測量的理想選擇。

Optodiode極紫外增強型光電二極管SXUV20C在1nm到200nm波長有的響應。它是專門設計為很長一段時間內穩(wěn)定暴露在高強度EUV能量。20mm2的圓形活動區(qū)域提供了一個實質性的表面便于對準EUV激光。SXUV20C在紫外線環(huán)境中具有較高的輻射硬度，比SXUV20HS1極紫外光電探測器更低的噪音。此外SXUV20C極紫外光電探測器具有高光子通量魯棒性，整體響應度更高。

Opto Diode極紫外光電二極管SXUV20HS1是一個圓形的活動區(qū)域，是極紫外探測的理想選擇，網(wǎng)格線5微米，間距100微米，同時具有*的輻射硬度。Optodiode極紫外增強型光電二極管SXUV20HS1在Vr=150V測試條件下，暗電流的值是100nA。在VR=0V測試條件下，SXUV光電探測器SXUV20HS1電容的典型值是500pF，值是1500pF。

Opto Diode極紫外光電二極管SXUV300C是矩形活動區(qū)，在EUV曝光后有優(yōu)異穩(wěn)定性，響應度為1nm的無窗封裝，陶瓷包裝。Opto Diode極紫外增強型光電二極管SXUV300C有效面積是331mm²，在IR=1µA測試條件下，反向擊穿電壓典型值是25V。

SXUV光電探測器SXUV5是一個圓形的活動區(qū)域，在EUV曝光后有優(yōu)異穩(wěn)定性，TO-5封裝，響應度為1nm的無窗封裝。SXUV光電探測器SXUV5有效區(qū)域是5mm²，在IR=1µA測試條件下，反向擊穿電壓典型值是20V，最小值是5V。

Optodiode極紫外增強型光電二極管特點：

-極紫外光探測的理想選擇

-有效面積5-331mm2

-防護罩板

-TO-8、TO-5、陶瓷封裝

Opto Diode極紫外光電二極管應用：

       -半導體設備制造，測試和測量

       -醫(yī)療、軍事和國防

       -工業(yè)

-生物技術

       -非常特殊的科學應用