質(zhì)量流量計(jì)用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量；質(zhì)量流量控制器用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。他們?cè)诎雽?dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應(yīng)用場(chǎng)合包括：電子工藝設(shè)備，如擴(kuò)撒、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測(cè)量、色相譜儀及其它分析儀器。
D07系列質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì)具有精度高、重復(fù)性好、響應(yīng)速度快、軟啟動(dòng)、穩(wěn)定可靠、工作壓力范圍寬等特點(diǎn)，其操作使用方面，可任意位置安裝，并便于與計(jì)算機(jī)連接實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制。
D07系列質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì)一般與D08系列流量顯示儀等產(chǎn)片配套使用，控制器與顯示儀之間用專(zhuān)用電纜連接。項(xiàng)目/型號(hào)
D07-11B
D07-11BM
流量規(guī)格
（0~5，10，20，30，50，100，200，300，500）SCCM
（0~1，2，3，5，10）SLM（0~5，10，20，30，50，100，200，300，500）SCCM
（0~1，2，3，5，10）SLM準(zhǔn)確度
±1%F.S
±1.5%F.S
線(xiàn)性
±（0.5~1）%F.S
±（0.5~1.5）%F.S
重復(fù)精度
±0.2%F.S
±0.2%F.S
響應(yīng)時(shí)間
電特性：10sce
氣特性：（1~4）sce10sce
工作壓差范圍
（0.2~0.8）MPa
氣壓降＜0.01MPa
耐壓
10MPa
10MPa
工作環(huán)境溫度
5℃~45℃
5℃~45℃
輸入輸出信號(hào)
0V~+5.00V
（輸入阻抗大于100K，輸出電流大于3mA）0V~+5.00V
（輸入阻抗大于100K，輸出電流大于3mA）電源
+15V 50mA
-15V 200mA+15V 50mA
-15V 50mA重量
1.1Kg
0.92Kg
