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儀表網(wǎng)>產(chǎn)品庫>分析檢測>無損傷檢測>測厚儀>硅晶圓膜厚測量儀 SIT-200

硅晶圓膜厚測量儀 SIT-200

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地北京市
  • 更新時間2024-02-05
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 入駐年限1
  • 實名認證已認證
  • 產(chǎn)品數(shù)量807
  • 人氣值2076
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產(chǎn)品介紹:SIT-200 硅晶圓檢測儀是Alnair Labs 公司采用高速掃頻激光器,利用干涉計量的方法設(shè)計制造的用于硅晶圓厚度檢測的干涉儀。與常規(guī)測厚采用寬帶光源不同,可調(diào)諧激光器具備很高的功率譜密度,從而提高了測量的動態(tài)范圍,因此,SIT-200 支持非拋光的晶圓測量,例如在濕刻過程中以及濕刻之后的晶圓。產(chǎn)品特點:l 全光學(xué),非接觸式晶圓厚度傳感l(wèi) 高動態(tài)范圍,可測量不規(guī)則表面l 支持
硅晶圓膜厚測量儀 SIT-200 產(chǎn)品詳情

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產(chǎn)品介紹:

SIT-200 硅晶圓檢測儀是Alnair Labs 公司采用高速掃頻激光器,利用干涉計量的方法設(shè)計制造的用于硅晶圓厚度檢測的干涉儀。與常規(guī)測厚采用寬帶光源不同,可調(diào)諧激光器具備很高的功率譜密度,從而提高了測量的動態(tài)范圍,因此,SIT-200 支持非拋光的晶圓測量,例如在濕刻過程中以及濕刻之后的晶圓。

產(chǎn)品特點:

l  全光學(xué),非接觸式晶圓厚度傳感

l  高動態(tài)范圍,可測量不規(guī)則表面

l  支持濕刻制程中實時測量

l  高靈敏度、高準確度、高速度

l  遠程控制

產(chǎn)品參數(shù):

測樣品

硅晶圓


可測厚度范圍

10 - 500 (n=3.5)

 m

精密可調(diào)諧激光

1515 - 1585

nm

光功率

0.6

mW

指引光

紅色,Class 1M


測量時間

最短 20

ms

可重復(fù)性

<0.1 (3-σ)

 m

監(jiān)控輸出

干涉信號輸出


PC 界面

Ethernet


精密掃頻激光光源以高速度調(diào)諧激光波長。樣品前、后表面反射的激光的干涉信號經(jīng)過PD 探測后,根據(jù)波長- 干涉信號強度的關(guān)系即可得到晶圓厚度。

北京波威科技有限公司

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