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高真空退火爐 半導體退火爐

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68000

≥1臺

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 型號
  • 品牌其他品牌
  • 所在地青島市
  • 更新時間2024-06-19
  • 廠商性質生產廠家
  • 入駐年限1
  • 實名認證已認證
  • 產品數量20
  • 人氣值154
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  青島晨立電子有限公司成立于2009年,是半導體設備及零部件、電子設備及電子元器件生產、研發(fā)、銷售廠家。為客戶提供xian進材料熱處理、高 精度電加熱設備及系統(tǒng)集成等全套解決方案。


  主要產品:高低溫擴散爐、實驗爐、共晶爐、燒結爐、加磁爐、高精度智能溫度控制系統(tǒng)和替代進口的擴散爐爐體等,同時承接各種微電子生產線,進口半導體專用設備的翻新升級改造及各大專院校科研院所的非標研發(fā)定制工作。


  公司本著和諧、共贏,以“質量求發(fā)展、以誠信為根本、以客戶為中心、以用戶滿意”為最終目標的企業(yè)方針,為客戶提供優(yōu)質的產品,優(yōu)良的服務。






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高真空退火爐 半導體退火爐供大規(guī)模集成電路、MEMS 生產線用做6“硅片的合金、氧化、退火、燒結、擴散等工藝使用。同時也可下沉工藝,完成4寸wafer 的相應工藝。
高真空退火爐 半導體退火爐 產品詳情

高真空退火爐  半導體退火爐

一、設備結構:
1、操作方式:左(右)手操作方式
2、硅片尺寸:圓形6寸片
3、工藝布局:滿足客戶工藝要求

4、自動化程度:工控機控制系統(tǒng)自動控制工藝流程
5、送取片方式:手動進出舟。
6、外形:主機1臺,主機架為臥式兩管。
二、主要技術參數:
1、加熱爐管有效口徑:滿足6英寸硅片??上蛳录嫒?寸和4寸硅片。
2、工作溫度范圍: 上管:600~1400℃
          下管:200~500℃
3、恒溫區(qū)長度及精度:600mm,
          上管:800-1400℃.±0.2℃/24h
          下管:200-500℃.±0.2℃/24h
4、控制方式:由工控機統(tǒng)一管理工藝
5、氣路設置:每管兩路氣體:氮氣100L/min.氬氣100L/min。均采用MFC自動控制流量大小。晨立公司擁有十幾年的專業(yè)研發(fā)制造經驗。自成立以來,堅持產品設計和服務質量共同發(fā)展,積極進取,精益求精,不斷提高產品核心競爭力。公司產品擁有自主產權。已擁有2項實用新型zhuanli,2項發(fā)明zhuanli正在申請中。有5名中、高級職稱的工程師組成專業(yè)的研發(fā)團隊,從事熱工行業(yè)近20年之久,有豐富的生產制造經驗。

公司本著和諧、共贏,以“質量求發(fā)展、以誠信為根本、以客戶為中心、以用戶滿意”為最終目標的企業(yè)方針,為客戶提供優(yōu)質的產品,優(yōu)良的服務。


高真空退火爐  半導體退火爐




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