系統(tǒng)簡介
光學(xué)輪廓儀是用于3D形貌定量測試，表面粗糙度檢測的理想非接觸式檢測工具。 可以測量各種材料的面形，提供各種參數(shù)，包括表面結(jié)構(gòu)，面形和臺階高度等等的2D和3D 圖形。與探針式接觸式輪廓儀相比，由于采用非接觸式的測量系統(tǒng)，沒有耗材，不會引起待測件的損傷。
IMOS nanoprofilometer光學(xué)表面輪廓儀設(shè)計結(jié)構(gòu)緊湊，具有兩種測量模式，可定量測量微米尺度和納米尺度表面形貌輪廓。具有測量速度快，測量精度高，性價比高的特點。
系統(tǒng)特點
測量各種材料的面形，包括平坦度，粗糙度，面形和臺階高度等
測量精度高，Z方向精度可打30pm
測量速度快，幾秒鐘內(nèi)可捕捉超過兩百萬數(shù)據(jù)點。
與同類產(chǎn)品相比較（包括探針式接觸式輪廓儀）具有高性價比，
結(jié)構(gòu)緊湊，抗振隔振。
非接觸式的測量系統(tǒng)，沒有耗材，不會引起待測件的損傷。
操作簡便，易于維護
支持大面積拼接測量
系統(tǒng)參數(shù)
| 測量面積 | 0.4X0.3mm2 |
| 橫向精度 | ＞1µm |
| 縱向精度 | 30pm (Nanorelief模式) 0.3µm (Microrelief模式) |
| 測量范圍 | 20µm (Nanorelief模式) 50mm (Microrelief模式) |
測試實例
