螺桿式無(wú)油機(jī)械真空泵又稱為干式螺桿真空泵，是利用齒輪傳動(dòng)同步反向旋轉(zhuǎn)的相互嚙合而不接觸的左螺桿于右螺桿作告訴轉(zhuǎn)動(dòng)，利用泵殼和相互嚙合的螺旋將螺旋槽分隔成多個(gè)空間，形成多個(gè)級(jí)，氣體在相等的各個(gè)槽內(nèi)（柱形等螺距）進(jìn)行傳輸運(yùn)動(dòng)。兩螺桿經(jīng)今夕動(dòng)平衡，由軸承支撐，安裝在泵殼中，螺桿于螺桿，螺桿于泵體之間都有一定的間隙，泵工作時(shí)相互之間無(wú)摩擦，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，噪音低，且工作腔內(nèi)無(wú)潤(rùn)滑油，因此螺桿真空泵適用于半導(dǎo)體，電子以及要求潔凈真空泵的場(chǎng)合，可以替代油封式機(jī)械泵，水封式機(jī)械泵成為新一代的主要真空獲得設(shè)備。
特點(diǎn)：
1,結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小。
2,泵腔內(nèi)無(wú)油，對(duì)真空系統(tǒng)無(wú)污染，提高產(chǎn)品質(zhì)量。
3,泵腔內(nèi)無(wú)油，解決潤(rùn)滑油乳化及頻繁換油，頻繁維護(hù)和保養(yǎng)等問題，節(jié)約使用成本。
4,無(wú)廢水，費(fèi)油的排放，對(duì)環(huán)境無(wú)污染。
5,能抽除大量水蒸氣和少量粉塵的氣體，增加附件后能抽除易燃易爆及放射性等氣體。
6,極限真空較高，可替代大部分羅茨水環(huán)，羅茨往復(fù)式真空機(jī)組。
7,泵腔及螺桿表面可進(jìn)行鍍鎳以及PTTE涂層處理，抽取大量水蒸氣及多種腐蝕型氣體。
性能參數(shù)：
特性曲線：
