產(chǎn)品簡介技術(shù)參數(shù)
該圖顯示了一個(gè)典型的PASS測量周期的順序
●電源將功率增加到可以觸發(fā)次點(diǎn)火的(可設(shè)置)值(2).
●在次點(diǎn)火(形成自由載電荷載體,并產(chǎn)生等離子體)后,GNT算法立即 逐步降低功率,直到等離子體不再被檢測到(3)
●增加功率以重新點(diǎn)燃等離子體(4)
●只要等離子體仍然“可見”,功率就會逐步降低(5)
●等離子體存在的功率水平作為測量值并被存儲,測試停止(6)
●整個(gè)測試周期持續(xù)時(shí)間不到200毫秒
測試原理的條件和限制
測量原理依賴于內(nèi)部壓力和維持等離子體所需的能量水平之間的關(guān)系??諝獾臏y量 真空范圍在20ubar和150mbar之間。
該上限由電場強(qiáng)度(等離子體發(fā)生器的輸出功率)定義,這可以在小容器內(nèi)實(shí) 現(xiàn),而不會引起任何閃絡(luò).
由于工作原理,在大約0.8 mbar,關(guān)系出現(xiàn)逆轉(zhuǎn),如所謂的“帕申”曲線所示。這導(dǎo)致了 在將能量水平轉(zhuǎn)化為壓力時(shí)的歧義。PG 2306EP始終指的是的較高值(在曲線中時(shí)) ,比如:大于100ubar到小于8mBar(輸出值如圖中藍(lán)線)