微聚焦加強(qiáng)型X射線(xiàn)裝置:可測(cè)試各類(lèi)極微小的樣品,即使檢測(cè)面積為0.003mm2的樣品也可輕松、精準(zhǔn)檢測(cè)
變焦裝置及位置補(bǔ)償算法:可對(duì)各種異性凹槽進(jìn)行檢測(cè),凹槽深度測(cè)量范圍可達(dá)0-30mm
自主研發(fā)EFP算法:多層多元素、各種元素及有機(jī)物,甚至有同種元素在不同層也可精準(zhǔn)測(cè)量
微米級(jí)移動(dòng)精度:高精密XY移動(dòng)滑軌,實(shí)現(xiàn)多點(diǎn)位、多樣品的精準(zhǔn)位移和同時(shí)檢測(cè),移動(dòng)精度可達(dá)5um,輕松應(yīng)對(duì)極微小樣品檢測(cè)
的解譜技術(shù):減少能量相近元素的干擾,降低檢出限