●Research系列高真空中頻感應(yīng)爐,主要用于在高溫、高真空環(huán)境或低壓氣氛保護下,對功能材料進行蒸發(fā)提純、熱處理、燒結(jié)、熔煉、生長等工藝制程,該設(shè)備采用公司專有高真空系統(tǒng),能防止高溫工藝制程對非金屬功能材料表面的影響和侵蝕,采用中頻感應(yīng)電源加熱匹配感應(yīng)線圈,對石墨、銥金、鉬、鎢等難熔坩堝進行加熱,具有效率高、穩(wěn)定可靠的特點。
主要技術(shù)參數(shù):
1. 加熱方式:中頻感應(yīng)加熱;
2. 工作溫度:2500℃長期運行;
3. 儀表控溫精度:0.3級;
4. 坩堝尺寸:定制;
5. 具有升溫速率調(diào)節(jié)功能;
6. 極限真空度:優(yōu)于8×10-4Pa(冷態(tài)、空載);
7. 真空排氣機組采用水冷匹配自然泄水方式;
8. 設(shè)備的漏率:低于6.0×10-6Pa·m3/s;
9. 設(shè)備總功率:約50-120KW。