详细技术参数
| TL1400管式炉
| 型号 | TL1400-C-I | TL1400-C-II | TL1400-C-III |
| 功率 | 5KW | 5KW | 6KW | |
| 炉管尺寸 | 高纯刚玉管:60/80/100*1000mm(管径可选） 两边各放置两个炉塞，炉塞可以阻挡炉管中心的热辐射，必须在加热前放置在炉膛的正确位置
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| 外形尺寸（LXDXH） | 610X490X800 | 610X550X850 | 610X550X850 | |
| 电源电压 | 220V /380V | |||
| 相数 | 单相 | |||
| 加热元件 | 硅碳棒 | |||
| 控制方式
| 采用宇电程序控温仪表（标配） 1、30段程序控温智能PID调节。 2、具有过温保护 断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断,，（当电炉温度超过1420度或热电偶烧断时， 主电路上的交流继电器会自动断开，主电路断开，面板上ON灯熄灭，OFF灯亮，有限的保护电炉）。 3、带有485 通讯接口（选购软件时标配） 4、具有断电保护功能，即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。 5、仪表具有温度自整定的功能
（更换进口仪表，需要另外付费，选购）
FP93控温仪表 欧陆仪表 触摸屏仪表 （日本岛电） | |||
| 控温模式 | 智能PID | |||
| 断偶保护和显示 | 有 | |||
| 过温保护 | 有 | |||
| 过流保护 | 有 | |||
| 控制精度 | +/- 1 ℃ | |||
| 触发器 | 移相触发 | |||
| 电器 | 浙江正泰 | |||
| 可控硅 | 106/16E 德国西门康 | |||
| 温度 | 1400 ℃ | |||
| 额定温度 | 1350 ℃ | |||
| 升温速率 | ≤35 ℃/ Min （可根据要求修改） | |||
| 推荐升温速率 | ≤15℃/ Min | |||
| 热电偶型号 | S型 | |||
| 加热段长度 | 300 mm | |||
| 温度校准（选配） | 定期对管式炉进行温度校准，可保持炉温的准确性和均匀性。您可以在本公司选购一套简单的校准工具，辅助您完成这项工作，完整的校准套件包括标准热电偶，温度校准仪，补偿导线 | |||
| 电器认证 |
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| 四周表面温度 | ≤45℃ | |||
| 阀门和法兰
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GX供气系统主要参数
| 质量流量计
| 量程和气体 | 5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM （你可以任意选择以上量程和所通气体的类型） | |
| 耐压 | 3MP | |||
| 流量控制精度 | ±1.0%F.S | |||
| 工作（使用）压力 | 0.3MPa | |||
| 线性 | ±0.5%F.S. | |||
| 重复精度 | ±0.2% F.S | |||
| 路数 | 1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意选择几路） | |||
| 接头类型 | 双卡套不锈钢接头 | |||
| 系统工作压力范围 | 0.1~0.5 MPa | |||
| 工作温度 | 5-45℃ | |||
| 压力真空表表 | -0.1~0.15MPa 0.01MPa/格 | |||
| 静态混气室 | Dia50 X 400MM | |||
| 接口 | Dia6 / 1/4” | |||
| VS-0.1抽气系统
方案一或方案二任选一个
| 电源 | 220V | ||
| 尺寸 | 650X650X600 / 650X650X300 | |||
| 波纹管 | KF25X1000mm | |||
| 用该系统抽炉管真空度可达 | 10 -1Pa | |||
| 真空挡板阀 | KF25 | |||
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VRD-8真空泵 方案一 | 型号 | VRD-8 | ||
| 极限分压强 | 5X10-2 Pa | |||
| 进排气接口 | KF25 | |||
| 电机转速 | 1440RPM | |||
| 抽气速率 | 2.2L/S | |||
| 电机功率 | 0.4KW | |||
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方案二 | 型号 | ACP15 | ||
| 电源 | AC100-240 50/60HZ | |||
| 功率 | 450W | |||
| 重量 | 25KG | |||
| 氦气漏率 | 5 · 10-8 Pa m3/s | |||
| 抽气速率 | 14 m3/h | |||
| 极限压强 | 0.02Torr | |||
| 进、排气接口 | KF25 | |||
| 电阻真空计 （方案一） | 型号 | ZDR-1 | ||
| 功率 | 25W | |||
| 真空度测量范围 | 0.1-10 5 Pa | |||
| 电阻硅 | ZJ-52T | |||
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瑞典（INFICON）皮拉尼陶瓷电容真空 （方案二）
| 型号 | PCG554 | ||
| 输入电压 | 24V 1A DC（配有220V变压器） | |||
| 真空计接口 | KF16 | |||
| 数字显示 | 数字显示（屏幕尺寸为20x14mm），其数据显示单位为torr | |||
| 产品尺寸 | 46mm×28mm×126mm ( L x W x H) | |||
| 重量 | 5 lbs | |||
| 检测气体 | 可检测各种气体，包括混合气体，测量精确、重复性好。 | |||
| 是否防腐 | 防腐 | |||
| 响应时间 | ≤30ms | |||
| 测量范围 | 3.8x10-5 -1125 Torr. | |||
| 分子泵机组（选购）
（方案一或方案二任选一个） | 机组输入电压 | 380V /220V | ||
| 波纹管 | KF40X1000 | |||
| 真空挡板阀 | KF40 | |||
| 机箱尺寸 | 600X600X600 | |||
| 分子泵 （方案一）
| 分子泵型号 | FJ620 | ||
| 输入电压 | 380V | |||
| 分子泵进气口法兰 | DN160 | |||
| 分子泵抽气速率L/S（对空气） | 600 | |||
| 分子泵极限压强（Pa) | 6×10-7 | |||
| 冷却方式 | 水冷 | |||
| 冷却水压（MPa） | 0.1-0.2 | |||
| 冷却水温度 | <25℃ | |||
| 环境温度 | 0~40℃ | |||
| 建议启东压强 | <100pa | |||
| 分子泵前级真空TRP-24 (FJ620分子泵必须要配此前级泵) （方案二）
| 功率 | 0.75KW | ||
| 电压 | 380V | |||
| 转速 | 1450rpm | |||
| 进气口径 | KF25/KF40 | |||
| 前机泵抽气速率（L/S） | 6 | |||
| 极限压强 | 4X10 -2Pa | |||
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德国Pfeiffer真空泵（方案二）
| 电压 | 220V | ||
| 功率 | 110W | |||
| 抽气接口 | KF40 | |||
| 重量 | 150KG | |||
| 前机泵抽速 | 0.9m 3/ h | |||
| 抽气速率（N2） | 33L/S | |||
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复合真空计
| 复合真空计型号 | ZDF | ||
| 电源 | 220V 55W | |||
| 控制精度 | ± 1% | |||
| 真空计测量范围 | 10-5 -10 5 Pa | |||
ACP15无油多级罗茨泵
CVD系统由供气系统+管式炉+抽气系统 ，温度可以达到1200度、1400度、1600度、1700度，加热区间可以是单温区、双温区、三温区等，极限真空可以达到10-3Pa，供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计，混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。
这款CVD系统是由3路供气系统+TL1400管式炉+真空系统组成
1、加热元件
（1）、硅碳棒的热端粗度d为14mm、一般厂家采用的12MM、加热端粗、不容易弯曲、棒子的表面负荷低，使用寿命长。
（2）、m冷端长度为210mm， 一般厂家采用180mm, 冷端长炉顶温度低。
（3）、硅碳棒表面氧化非晶膜致密，能够比较好的保护碳棒。
2、安装有空气开关和漏电保护器：
当电路过流或漏电时，空开会自动断开。
3、可以与电脑连接（选购）
该炉配可有通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出
4、炉膛
进口炉膛 VS 国产炉膛
1、真空吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。
2、采用成型。
3、炉膛材料热容低、热传导系数低，从而散热少、保温好、反射率高。温场均衡。
4、炉膛氧化铝丝细而长、耐温高、抗热涨冷缩能力强。
5、炉膛表面光洁、不易掉粉。
5、可选UL认证电气板 （全部通过UL认证的进口电器）
6、不锈钢支撑架
7、多款可供选择的各种法兰 （直径从25到250mm）
铰链式法兰（选购） 可以接电阻真空计和KF25波纹管的法兰（选购） 水冷法兰（选购）
8、认证
管式炉标准配件
| 描叙 | 数量 | 图片 |
| TL1400管式炉 | 1 套 |
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| 刚玉管 | 1根 |
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| 不锈钢法兰 | 1 套 |
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| 不锈钢炉钩 | 1 个 |
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| 氧化铝炉塞 | 2对 |
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| 高温手套 | 1 双 |
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| 氧化铝坩埚 | 1个 |
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| Ｋ型热电偶 | 1个 |  |
| 485转换接口和软件（选配） | 1 套 |
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| 说明书 | 1本 | |
| 法兰支撑架 | 1 份 | |
| 供气系统
| 1台 |  |
| 抽气系统 | 1台 |  |
| 卡套 | 4个 |  |
| 波纹管 | 1支 |  |
| 真空挡板阀 | 1个 |  |
| 钢瓶接头（N代表路数） | N个 |  |
| 阀门接头 | 2 |  |
| 聚四氟乙烯管(N代表路数) | NX5 |  |
